Sistema de litografía sin máscara MCXJ-MLS8, Sistema de litografía sin máscara MCXJ-MLS8 de China Fabricantes, proveedores, fábrica

Descripción del producto

Muestra:

Fabricación del sistema de litografía sin máscara MCXJ-MLS8

Diagrama de estructura del equipo

Proveedor del sistema de litografía sin máscara MCXJ-MLS8

Especificaciones

Diagrama de estructura del huésped de exposición

estructura	ilustrar
Exponiendo la encimera	Área de exposición: encimera, área de colocación del sustrato
Sistema óptico	Área de moldeo por emisión láser
Sistema de control ambiental	Controlar la temperatura interna y la presión positiva del dispositivo.
Sistema de plataforma	Controla el movimiento de la mesa de exposición para completar la operación de la ruta de exposición.
Sistema de control	Sistema de control de todo el equipo.

Nota: Debido a que la actualización de la máquina puede cambiar la apariencia real, lo específico está sujeto al producto real.

No.	Entorno	Exigir
1	Entorno de fuente de luz	Luz amarilla
2	Temperatura	22 ℃ ± 2 ℃
3	Humedad	50% ± 10%
4	HoReCa	1000
5	CDA	0.6 ± 0.1 Mpa, 200 LPM, aire seco y limpio.
6	Fuente de alimentación	220 ~ 240 V, 50/60 Hz, 2.5 kW; el cable de tierra debe estar conectado a tierra.
7	El agua de refrigeración	Temperatura: 10 ℃ ~ 20 ℃ Presión: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Caudal: 20 l/min. Diferencia de presión: 0.3 MPa Tomar el control del calibre: Rc3/8
8	Sitio	Nivel: ±3 mm/3000 mm Agitar: VC-B Rodamiento: 750 kg/㎡
10	Internet	Un puerto de red
11	tamaño de la máquina	1300 1100 * * 2100mm
12	Peso del dispositivo	1500kg

No.	Proyectos	Especulación.	Observación
1	Resolución	0.6um/u otro requisito	AZ703、AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Espesor del sustrato	0.2 mm ～ 4 mm
4	Precisión de la cuadrícula de fechas	60nm
5	Superposición	± 500nm	130mmx130mm
6	Precisión de costura	± 200nm	AZ703
7	Tamaño de exposición MÁXIMO	190X190mm
8	Throughput	≥300 mm2/min	≤50mj/cm2;
9	fuente de luz	LD 375nm
10	potencia de la luz	6W
11	Uniformidad energética	≥ 95%
12	vida ligera	10000hr

Embalaje y Entrega

Perfil de la empresa

Contamos con 16 años de experiencia en la venta de equipos. Podemos proporcionarle una solución profesional integral de equipos de línea de paquetes frontal y posterior de semiconductores de China.