Unidad principal de plasma al vacío (100) |
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Tamaño del equipo |
L 1000×W 900×H 1750mm |
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Peso |
500kg |
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Suministro de energía a demanda |
AC380V, 50/60Hz, 5 hilos, 25A (tipo abierto total por encima de C) |
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Especificación del generador de plasma |
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Poder |
frecuencia de radio |
frecuencia intermedia |
0~600W |
0-1000W |
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frecuencia de suministro |
13,56 MHz |
40 K Hz |
sistema de vacío |
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Bomba de vacío |
Bomba de vacío rotativa (bomba de aceite): 60 m3/h |
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línea de vacío |
Toda la línea de acero inoxidable, así como mangas de vacío de alta resistencia |
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Calidad del Material |
alufer |
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Grosor |
25mm |
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hermeticidad |
Sellado por soldadura de grado militar |
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Dimensiones internas de la cavidad |
450*450*500mm (Ancho*alto*profundidad) |
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Tamaño efectivo de la placa eléctrica |
322*351mm (ancho*profundidad) |
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Espaciado de espacio disponible |
20mm |
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Disposición de electroplacado |
Placa electroda horizontal |
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Bandejas |
Conjunto estándar, material opcional (aluminio, malla de alambre de acero) |
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Espacio de trabajo |
8 capas |
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Gas de proceso |
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Rango de flujo |
0~300SCCM |
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Ruta del gas de proceso |
Estándar con dos vías, se puede personalizar. La tubería de gas de proceso está hecha de ferrofllon |
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navar |
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SC |
PLC |
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modo interactivo |
Pantalla táctil de 7 pulgadas |
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