Unidad principal de plasma vacío (100) |
||||
Tamaño del equipo |
L 1000×W 900×H 1750mm |
|||
peso |
500kg |
|||
Suministro de energía a demanda |
AC380V, 50/60Hz, 5 hilos, 25A (tipo abierto total por encima de C) |
|||
Especificación del generador de plasma |
||||
poder |
frecuencia de radio |
frecuencia intermedia |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
frecuencia de suministro |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Sistema de vacío |
||||
bomba de vacío |
Bomba de vacío rotativa (bomba de aceite): 60 m3/h |
|||
línea de vacío |
Toda la línea de acero inoxidable, así como mangas de vacío de alta resistencia |
|||
calidad del Material |
alufer |
|||
grosor |
25mm |
|||
hermeticidad |
Sellado por soldadura de grado militar |
|||
Dimensiones internas de la cavidad |
450*450*500mm (Ancho*alto*profundidad) |
|||
Tamaño efectivo de la placa eléctrica |
322*351mm (ancho*profundidad) |
|||
Espaciado de espacio disponible |
20mm |
|||
Disposición de electroplacado |
Placa electroda horizontal |
|||
bandejas |
Conjunto estándar, material opcional (aluminio, malla de alambre de acero) |
|||
espacio de trabajo |
8 capas |
|||
gas de proceso |
||||
Rango de flujo |
0~300SCCM |
|||
Ruta del gas de proceso |
Estándar con dos vías, se puede personalizar. La tubería de gas de proceso está hecha de ferrofllon |
|||
navar |
||||
SC |
PLC |
|||
modo interactivo |
pantalla táctil de 7 pulgadas |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved