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Descripción del producto

MD-SPV100 Tratador de superficies por plasma al vacío

MD-SPV100 Máquina de tratamiento de superficies de plasma al vacío Procesador de limpieza de plasma Proveedor de limpiador de plasma

Ventajas de la limpieza por plasma al vacío

La limpieza con plasma es un método importante de modificación de la superficie del material y se ha utilizado ampliamente en muchos campos.
Y algunos métodos de limpieza tradicionales, como la limpieza ultrasónica, la limpieza UV, etc., tienen las siguientes ventajas:
(A) Baja temperatura de procesamiento
La temperatura de procesamiento puede ser tan baja como 80 °C - 50 °C. Las bajas temperaturas de procesamiento garantizan que no haya efectos térmicos en la superficie de la muestra.
（B）Sin contaminación durante todo el proceso
El limpiador de plasma en sí es un dispositivo muy ecológico que no causa contaminación y no causa contaminación durante el proceso de tratamiento.
(C) Efecto de procesamiento estable
El efecto del tratamiento de la limpieza con plasma es muy uniforme y estable, y el efecto de mantener la muestra después de un largo período de tiempo es bueno.
(D) Puede manejar muestras de varias formas.
Para muestras de formas complejas, la limpieza con plasma puede encontrar la solución adecuada.

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Parte de la muestra

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Especificaciones

Unidad de plasma al vacío (100)
Tamaño del equipo	L 1000×An 900×Al 1750 mm
peso	500Kg
Demanda de suministro de energía	AC380V, 50/60 Hz, 5 líneas, 25 A (tipo abierto total por encima de C)
Especificación del generador de plasma
industria	frecuencia de radio	frecuencia intermedia
		0 ~ 600W	0-1000W
frecuencia de suministro	13.56MHz	40 kHz
Sistema de vacío
bomba aspiradora	Bomba rotativa de sobrevuelo (bomba de aceite): 60 m3/h
tubería de vacío	Línea toda de acero inoxidable, así como fuelles de vacío de alta resistencia.
calidad material	alufer
espesor	25 mm
opresión	Sello de soldadura de grado militar
Dimensiones internas de la cavidad.	450450500 mm（Ancho* alto * profundidad）
Tamaño efectivo de la placa eléctrica	322351 mm (ancho profundidad)
Espacio disponible	20 mm
Disposición de electrochapa	Placa de electrodo horizontal
Bandejas	Conjunto estándar, material opcional (aluminio, malla de alambre de acero)
espacio de trabajo	capa de 8
gas de proceso
Rango de flujo	0~300SCCM
Ruta del gas de proceso	Estándar con dos vías, se puede personalizar. El gasoducto de proceso está fabricado en ferrofllón.
navarro
SC	PLC
modo interactivo	Pantalla táctil de 7 pulgadas

Vista de la fábrica

Aplicaciones

Embalaje y Entrega

Perfil de la empresa

Contamos con 16 años de experiencia en la venta de equipos. ¡Podemos proporcionarle una solución integral de equipos de línea de paquetes de front-end y back-end de semiconductores de China!