Unidad de plasma al vacío (150) | ||||
Tamaño del equipo | L 1100×An 940×Al 1755 mm | |||
peso | 600Kg | |||
Demanda de suministro de energía | AC380V, 50/60 Hz, 5 líneas, 25 A (tipo abierto total por encima de C) | |||
Especificación del generador de plasma | ||||
industria | frecuencia de radio | frecuencia intermedia | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
frecuencia de suministro | 13.56MHz | 40 kHz | ||
Sistema de vacío | ||||
bomba aspiradora | Bomba monopolo Leap VSV 65 + Bomba Bowse Lots BSJ 70 | |||
tubería de vacío | Línea toda de acero inoxidable, así como fuelles de vacío de alta resistencia. | |||
calidad material | alufer | |||
espesor | 25 mm | |||
opresión | Sello de soldadura de grado militar | |||
Dimensiones internas de la cavidad. | 500*500*600 mm (ancho* alto * profundidad) | |||
Tamaño efectivo de la placa eléctrica | 372 (ancho) x 451 (profundidad) mm | |||
Espacio disponible | 24 mm | |||
Disposición de electrochapa | Placa de electrodo horizontal | |||
Bandejas | Conjunto estándar, material opcional (aluminio, malla de alambre de acero) | |||
espacio de trabajo | capa de 8 | |||
Gas de proceso | ||||
Rango de flujo | 0~300SCCM | |||
Ruta del gas de proceso | Estándar con dos vías, se puede personalizar. El gasoducto de proceso está fabricado en ferrofllón. | |||
Sistema de control | ||||
SC | control de la PC | |||
modo interactivo | Interfaz de Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Todos los derechos reservados