Anfitrión de plasma al vacío(200) |
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Tamaño del equipo |
1050×1700×1050mm (ancho, alto y profundidad) |
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peso |
800Kg |
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poder de demanda |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
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Especificaciones del generador de plasma |
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red eléctrica |
frecuencia de radio |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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Frecuencia de poder |
13.56MHz |
40 KHz |
Sistema de vacío |
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bomba aspiradora |
Bomba unipolar Feiyue VSV100 + bomba de ambas raíces BSJ70 |
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línea de vacío |
Todos los tubos de acero inoxidable y fuelles de vacío de alta resistencia. |
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materiales |
Aleación de aluminio |
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espesor |
25 mm |
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opresión |
Sello soldado de grado militar. |
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Dimensiones internas de la cavidad |
600×600×600 mm (Ancho×Alto×Profundidad) |
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Tamaño efectivo de la placa del electrodo. |
472 x 451 mm (ancho x profundidad) |
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espacio disponible |
35 mm |
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Disposición de la placa de electrodos |
Placa de electrodo horizontal |
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bandeja de trabajo |
Un juego es estándar y el material es opcional (aluminio, malla de acero) |
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Espacio de trabajo |
8 Pisos |
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Gas de proceso |
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Rango de flujo |
0~300SCCM |
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Circuito de gas de proceso |
Equipado con gas de tres vías O2, Ar, N2 |
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Sistema de control |
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control de sistema |
control de la PC |
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modo interactivo |
Interfaz de Windows |
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