Huésped de plasma de vacío(200) |
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Tamaño del equipo |
1050×1700×1050mm(ancho, alto y profundidad) |
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peso |
800kg |
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potencia requerida |
AC380V,50/60Hz,5cables, 30A |
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Especificaciones del Generador de Plasma |
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energía eléctrica principal |
frecuencia de radio |
IF |
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0~1000W |
0-2000w |
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Frecuencia de corriente alterna |
13,56 MHz |
40 KHz |
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Sistema de vacío |
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bomba de vacío |
Bomba unipolar Feiyue VSV100 + Ambas bombas Roots BSJ70 |
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línea de vacío |
Todos los tubos de acero inoxidable y acorazados de vacío de alta resistencia |
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material |
Aleación de Aluminio |
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grosor |
25mm |
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hermeticidad |
Sello soldado de grado militar |
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Dimensiones internas de la cavidad |
600×600×600mm (W×H×D) |
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Tamaño efectivo de la placa electroda |
472 X 451mm (W×D) |
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espacio disponible |
35mm |
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Diseño de la placa electroda |
Placa electroda horizontal |
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bandeja de trabajo |
Un conjunto es estándar, y el material es opcional (aluminio, malla de acero) |
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Espacio de trabajo |
8 pisos |
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Gas de proceso |
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Rango de flujo |
0~300SCCM |
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Circuito de gas de proceso |
Equipado con gas trifásico O2, Ar, N2 |
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Sistema de Control |
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control del sistema |
Control por PC |
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modo interactivo |
Interfaz de Windows |
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