Anfitrión de plasma al vacío (200) | ||||
Tamaño del equipo | 1050×1700×1050mm(ancho, alto y fondo) | |||
peso | 800Kg | |||
poder de demanda | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Especificaciones del generador de plasma | ||||
red eléctrica | frecuencia de radio | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Frecuencia de poder | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Sistema de vacío | ||||
bomba aspiradora | Bomba unipolar Feiyue VSV100 + bomba de ambas raíces BSJ70 | |||
línea de vacío | Todos los tubos de acero inoxidable y fuelles de vacío de alta resistencia. | |||
materiales | Aleación de aluminio | |||
espesor | 25 mm | |||
opresión | Sello soldado de grado militar. | |||
Dimensiones internas de la cavidad | 600×600×600 mm (Ancho×Alto×Profundidad) | |||
Tamaño efectivo de la placa del electrodo. | 472 x 451 mm (ancho x profundidad) | |||
espacio disponible | 35 mm | |||
Disposición de la placa de electrodos | Placa de electrodo horizontal | |||
bandeja de trabajo | Un juego es estándar y el material es opcional (aluminio, malla de acero) | |||
Espacio de trabajo | 8 Pisos | |||
Gas de proceso | ||||
Rango de flujo | 0~300SCCM | |||
Circuito de gas de proceso | Equipado con gas de tres vías O2, Ar, N2 | |||
Sistema de control | ||||
control de sistema | control de la PC | |||
modo interactivo | Interfaz de Windows |
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