Máquina de litografía de una sola cara completamente automática MDHS-AL8 de 8 ", Máquina de litografía de una sola cara completamente automática MDHS-AL8 de 8 " Fabricantes, proveedores, fábrica de China

Descripción del producto

MDHS-AL8 Máquina de litografía de una cara totalmente automática de 8"

1. Modo de trabajo: el robot de carga carga automáticamente las obleas desde la caja de obleas AB (reciclable) hasta el posicionamiento previo.

banco de trabajo, y mediante el ajuste de la oblea de posicionamiento de la cámara y el sistema de rotación automática, se logra el preposicionamiento de la oblea; Luego, el robot de carga carga las obleas preposicionadas en el banco de trabajo de alineación. Mediante el reconocimiento de imágenes por computadora y el ajuste automático del sistema de alineación, se puede lograr la alineación automática de los gráficos en la máscara y las obleas. También es posible completar una exposición sin alinear los gráficos. Después de la exposición automática mediante el sistema de sobreexposición, el robot de descarga coloca automáticamente las obleas en la caja de oblea de CD (reciclable).
2. Área de exposición: 160 × 160 mm;
3. Iluminancia de exposición desigual: ≤ 3%;
4. Intensidad de exposición: 0~≥ 40mw/cm2 ajustable (ángulo de haz 2°);
5. Ángulo del haz UV: ≤ 3 °;
6. Longitud de onda central de la luz ultravioleta: 365 nm;
7. Vida útil de la fuente de luz UV: ≥ 20000 horas;
8. Capacidad de separación: 0~≥ 1000um ajustable;
9. Precisión de alineación: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Precisión de la exposición: Exposición de contacto ± 1 μ m. Separación de exposición cercana de 20 μ M Ángulo de haz 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Métodos de exposición: contacto duro, contacto suave y exposición de proximidad;
12. Modo de exposición: puede elegir entre exposición única o exposición compensada
13. Sistema de rotación automática y reconocimiento de imágenes de preposicionamiento (incluido el banco de trabajo de preposicionamiento): ángulo de rotación Q ≥ ± 180 °, precisión de rotación Q ≤ 0.01 °;
14. Sistema de reconocimiento de imágenes y alineación automática (incluido el banco de trabajo de alineación UVW): rango de alineación XY ≥ ± 5 mm, ángulo de rotación Q ≥ ± 3 ° y dos lentes del microscopio están controlados por dos plataformas eléctricas XYZ.
15. Tamaño de máscara: 5" × 5" y 7" × 7";
16. Tamaño de oblea: 4” y 6”;
17. Estaciones de trabajo con caja de película superior e inferior: estaciones de trabajo duales;
18. Bolsa de aire para cojín de pies
19. Carga y descarga de brazo robótico de doble brazo: Z ≥ 350 mm, R135 mm;
20. Número de obleas en la caja de obleas: determinado en función del número de obleas en la caja de obleas del cliente;
21. Elevación de la mesa de posicionamiento: Z ≥ ± 25 mm;
22. Tiempo de exposición: ajustable de 0 a 999.9 segundos;
23. Ritmo de producción:>120 piezas por hora;
24. Fuente de alimentación: monofásico AC220V 50Hz, consumo de energía ≤ 3KW;
25. Presión de aire limpio: ≥ 0.4 MPa;
26. Grado de vacío: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Tamaño: 1400 * 1000 * 2100 mm;
28. Peso: Aproximadamente 400 kg

Proveedor de máquinas de litografía de una sola cara totalmente automáticas de 8

Esta máquina consta de un cabezal de exposición ultravioleta LED, un sistema de reconocimiento de imágenes y rotación automática, un banco de trabajo preposicionado y un sistema de alineación automática y reconocimiento de imágenes, bancos de trabajo de alineación, robots de carga, robots de descarga, bastidores y control eléctrico. , accesorios de repuesto, etc.

Especificaciones

1. Cabezal de exposición: un cabezal de exposición ultravioleta LED (365 nm);
2. Banco de trabajo de reconocimiento de imágenes y prealineación:
1) 1 cámara (1.3 millones de píxeles)
2) Dispositivo de posicionamiento central
3) 1 juego de plataforma giratoria (usando servomotor)
4) 1 juego de sistema de posicionamiento
3. Sistema de reconocimiento de imágenes y alineación automática:
1) 2 cámaras (velocidad de cuadros de 5 millones de píxeles)
2) 2 lentes (lente de alta definición 4x)
3) Una computadora industrial
4) Un controlador (controlado por PLC)
5) Un juego de plataforma de alineación (usando motor paso a paso de 5 fases)
6) Un conjunto de sistema deportivo.
7) El dispositivo de placa superior adopta un motor para subir y bajar
7) El software adopta la última versión de LabVIEW Professional Edition
4. Brazo mecánico de carga y descarga:
1) X Y. Un conjunto de mecanismo de movimiento automático Z
2) Brazo robótico de doble brazo (brazos de carga y descarga)
5. Mecanismo de fijación de la caja de oblea:
1) AB es la posición fija de la caja de película de alimentación.
2) CD es la posición fija de la caja de película de corte.
3) G es el posicionamiento fijo de la caja de película de posición NG
6. Plataforma fija de cámara:
7. Dos juegos de mecanismos de ajuste eléctrico YZ (controlados por servomotores)
8. Rack y consola de control eléctrico:
1) 1 computadora industrial
2) Un conjunto de PLC;
3) Un juego de válvulas solenoides y sistema de control.
4) Un conjunto de instrumentos neumáticos digitales.
5) Un juego de consola de control
8. Accesorios de repuesto:
1) Traqueal: 15 metros
2) 2 válvulas solenoides
3) Bomba de vacío: 1 unidad
9. Datos técnicos:
1) Un manual de usuario
2) Un certificado de conformidad
10. Adicional
El software del equipo debe estar equipado con el protocolo de comunicación SECS, y el comprador proporciona una biblioteca dinámica con la función de acoplarse al sistema MES del comprador, registrar automáticamente el número de lote del producto, el número de trabajo y el estado de operación y cargarlos. Al mismo tiempo, tiene la función de identificar el código QR de la placa de la máscara, compararlo con el código QR de la placa de la máscara del sistema MES y evitar que se tome la placa de la máscara incorrecta.

Embalaje y Entrega