Máquina de litografía de un solo lado de alta precisión MDXN-25X, Fabricantes, proveedores, fábrica de máquinas de litografía de un solo lado de alta precisión MDXN-25X de China

Descripción del producto

Este equipo es una máquina de litografía de precisión desarrollada por nuestra empresa específicamente para las características de uso de las máquinas de litografía en diversas facultades e instituciones de investigación. Se utiliza principalmente para el desarrollo y producción de circuitos integrados pequeños y medianos, componentes semiconductores, dispositivos optoelectrónicos y dispositivos de ondas acústicas de superficie.

Máquina de litografía de una sola cara de alta precisión MDXN-25X

Especificaciones

Principales parámetros técnicos

1. El dispositivo puede adsorber al vacío una máscara cuadrada de 5 "X5", sin requisitos especiales para el grosor de la placa (que van de 1 a 3 mm).
2. El dispositivo se puede aplicar a un sustrato circular de ф 100 mm;
3. Espesor del sustrato ≤ 5 mm;
4. Iluminación:
Fuente de luz: Se utiliza una lámpara de mercurio de corriente continua de mercurio de presión ultraalta GCQ350Z.
Rango de iluminación: ≤ ф 117 mm Área de exposición: ф 100 mm
permanezca ф Dentro de un rango de 100 mm, la desigualdad de la exposición es ≤ ± 3% y la intensidad de la exposición es> 6 mw/cm2 (este indicador se mide utilizando una fuente de luz UV I-line de 365 nm).
5. Este dispositivo adopta un relé de tiempo importado para controlar el obturador neumático, asegurando un funcionamiento preciso y confiable.
6. Esta máquina es una máquina de exposición por contacto que puede lograr:
7. Exposición al contacto duro: utilice vacío de tubería para obtener un contacto de alto vacío, vacío ≤ -0.05 MPa
8. Exposición al contacto suave: la presión de contacto puede elevar el vacío entre -0.02 MPa y -0.05 MPa.
9. Exposición al microcontacto: contacto inferior al suave, vacío ≥ -0.02 MPa.
10. Resolución de exposición: la resolución de exposición por contacto duro de este dispositivo puede alcanzar 1 μ por encima de m (la precisión de la "placa" y el "chip" del usuario debe cumplir con las regulaciones nacionales, y el medio ambiente, la temperatura, la humedad y el polvo pueden debe controlarse estrictamente. Se utiliza fotorresistente positivo importado y el espesor del fotorresistente uniforme se puede controlar estrictamente. Además, se avanzan los procesos delanteros y traseros.
11. Alineación: El sistema de observación consta de dos cámaras CCD montadas en dos microscopios de un solo tubo y conectadas a la pantalla de visualización a través de un cable de video.

Embalaje y Entrega

Proveedor de máquina de litografía de una sola cara de alta precisión MDXN-25X

Detalles de la máquina de litografía de una sola cara de alta precisión MDXN-25X

Perfil de la empresa

Contamos con 16 años de experiencia en la venta de equipos. Podemos proporcionarle una solución profesional integral de equipos de línea de paquetes frontal y posterior de semiconductores de China.