1.Energía requerida para el equipo: Suministro eléctrico principal: 220V, 50HZ, consumo de energía≤1.5KW;
2Equipado con una bomba de vacío con un suministro eléctrico de 220V;
3.Tamaño y peso: Tamaño: 1200(largo)×720(ancho)×1500(alto). Peso ≤170kg;
4.Colocar el cuerpo de la máquina en un banco de trabajo especial;
5.Tipo de exposición: tipo de contacto, alineación de placa, exposición doble cara;
6 Área de exposición: φ100mm;
7.Inhomogeneidad de exposición: ≤±3%;
8.Intensidad de exposición: ≥5mw/cm2;
9.Resolución de exposición: 2μm;
10.Modo de exposición: Exposición simultánea doble cara;
11.Rango de alineación: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Precisión de grabado: 2μm;
13.Rango de rotación: Ajuste de rotación en dirección Q ≤±5°;
14.Sistema microscópico: sistema CCD de doble campo de visión, lente objetivo 1.6X~10X, sistema de procesamiento de imágenes por computadora, monitor LCD de 19";
15.Tamaño de la máscara: Capaz de adsorción por vacío