Unidad de plasma de vacío |
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Tamaño del equipo |
1230X1800X1100mm (ancho x alto x profundidad) |
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Peso |
450 Kg |
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Demanda de energía |
AC380V, 50/60Hz, 5 hilos, 30A |
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Especificaciones del Generador de Plasma |
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Fuente de alimentación de microondas |
Poder |
0~1250W |
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Frecuencia |
2.45GHz |
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Sistema de vacío |
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Material |
Aleación de aluminio (cámaras de acero inoxidable personalizables) |
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Grosor |
25mm |
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Dimensiones internas de la cavidad |
480mmX470mmX480mm |
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Espacios de trabajo |
6 secciones de revista |
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ECR |
La revista ranurada proporciona un efecto de procesamiento mejorado por ECR |
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Capacidad de plasma |
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Capacidad de procesamiento |
paso de 35 micras bump de 40μm tamaño máximo de dado de 15X15mm |
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