Asunto | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Tamaño del producto | ≤6 pulgadas | ≤8 pulgadas | ≤8 pulgadas | ||
fuente de alimentación de radiofrecuencia | 0-300W/500W/1000W Ajuste automático y ajustable | ||||
bomba molecular | -/620(L/s)/1300(L/s)/Personalizado | Antiséptico620(L/s)/1300(L/s)/Personalizado | |||
bomba delantera | Bomba mecánica/bomba seca | Bomba seca | |||
Presión de proceso | Presión no controlada/presión controlada 0-1Torr | ||||
Tipo de gas | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Personalizado (Hasta 9 canales, sin gases corrosivos ni tóxicos) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Rango de gas | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
Bloqueo de carga | Si no | Sí | |||
Control de temperatura de muestra | 10°C~Temperatura ambiente/-30°C~100°C/Personalizado | -30°C~100°C /Personalizado | |||
Refrigeración trasera con helio | Si no | Sí | |||
Revestimiento de la cavidad del proceso | Si no | Sí | |||
Control de temperatura de la pared hueca | No/Temperatura ambiente~60/120°C | Temperatura ambiente-60/120°C | |||
Sistema de control | Automático/personalizado | ||||
Material de grabado | A base de silicio:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiales magnéticos/materiales de aleación. Material metálico: Ni/Cr/Al/Au. Material orgánico: PR/PMMA/HDMS/Película orgánica. | A base de silicio: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Materiales magnéticos/materiales de aleación. Material metálico: Ni/Cr/A1/Au. Material orgánico: PR/PMMA/HDMS/película orgánica. |
Adecuado para dispositivos de microondas, dispositivos eléctricos, etc.
La máquina de grabado de iones reactivos (RIE) de alta tecnología de Minder es una pieza de tecnología de última generación que puede grabar y analizar varios tipos de materiales con una precisión increíble. Esta máquina está diseñada para su uso en diversas industrias donde se requiere microfabricación o grabado con regularidad. Está fabricado con materiales de alta calidad que lo hacen duradero, confiable y capaz de producir excelentes resultados.
Equipado con un generador de plasma de RF es eficaz. El sistema RIE utiliza un acoplamiento inductivo para generar plasma a partir de la gasolina de alimentación. Esta técnica crea un plasma de alta densidad que aumenta la tasa de grabado asociada con el producto. El proceso de grabado de la máquina RIE es efectivo, preciso y altamente controlable, lo que permite lograr una profundidad específica. Esta característica es única y es una excelente opción para trabajos de investigación o industriales.
La máquina tiene una amplia gama de productos, que incluyen microelectrónica, fabricación de MEMS y fabricación de semiconductores. Esta máquina desempeña un papel importante en el grabado y el micromecanizado de materiales semiconductores como el silicio, el arseniuro de galio y el germanio en la industria de los semiconductores. El dispositivo RIE de alta tecnología Minder también se ha establecido en la industria MEMS para fabricar materiales blandos y duros como poliimida, dióxido de silicio y nitruro de silicio. Además, es accesible para análisis de fallas en industrias asociadas con servicios y productos electrónicos.
Incluye funciones que son diversas y facilitan su uso. Es un software fácil de usar que proporciona al operador un control total sobre los parámetros de grabado utilizados en el dispositivo. La configuración de la máquina se guarda en su memoria interna y puede almacenar más de 100 conjuntos de configuraciones. Tiene una pantalla táctil que permite al operador configurar parámetros como el movimiento del gas, el espesor de potencia y la presión. La máquina RIE de alta tecnología de Minder también tiene una función de control de temperatura que garantiza que los materiales se graben a la temperatura adecuada y evita que se dañen.
Perfecto para empresas que requieren una máquina confiable y eficiente que pueda proporcionar resultados exactos y precisos. Este dispositivo ha sido diseñado con tecnología de primer nivel y el nivel es mucho. Su versatilidad y características fáciles de usar lo convierten en una muy buena opción para aplicaciones industriales y de investigación en diferentes sectores.
También cuenta con un eficiente sistema de análisis de fallas que permite a la máquina detectar y corregir cualquier problema mecánico lo antes posible. Este sistema garantiza que la máquina RIE mantenga una alta calidad y fiabilidad durante todo su ciclo de vida. Para cualquier industria que requiera grabado o microfabricación precisa y eficiente, la máquina RIE de alta tecnología de Minder es la solución perfecta.
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