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  • Equipo RTP Procesamiento Térmico Rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS
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Equipo RTP Procesamiento Térmico Rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS

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Descripción del Producto

Procesamiento Térmico Rápido

Equipo RTP para semiconductores compuestos, SlC, LED y MEMS
* Crecimiento de óxidos, nitruros
* Aleación rápida de contacto ohmico
* Revestimiento de aleación de silicida
* Oxidación reflux
* Proceso de arseniuro de galio
* Otros procesos de tratamiento térmico rápido
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS factory
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
Característica

Cámara dual completamente automática RTP

* Compatible con WAFER de 6-8 pulgadas
* La temperatura máxima puede alcanzar los 1250°c
* Reproducibilidad de temperatura estable
* Diseño de cámara dual completamente automático para aumentar la capacidad de producción
* Uniformidad del campo de ultra alta temperatura
* Satisface la demanda del proceso de producción masiva de SlC
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier

RTP semi-automático

* Calefacción con lámpara infrarroja halógena, enfriamiento mediante enfriamiento por aire;
* Control de temperatura PlD para la potencia de la lámpara, lo que puede controlar con precisión el aumento de temperatura, asegurando buena reproducibilidad y uniformidad térmica;
* La entrada de material se establece en la superficie del WAFER para evitar la producción de puntos fríos durante el proceso de recocido y asegurar una buena uniformidad térmica del producto;
* Se pueden seleccionar tanto métodos de tratamiento a presión atmosférica como bajo vacío, con pretratamiento y purificación del cuerpo;
* Dos conjuntos de gases de proceso son estándar y se pueden expandir hasta un máximo de 6 conjuntos de gases de proceso;
* El tamaño máximo de una muestra de monocristal de silicio medible es de 12 pulgadas (300x300 MM);
* Se implementan por completo las tres medidas de seguridad de protección de apertura de temperatura segura, protección de permiso de apertura del controlador de temperatura y protección de parada de emergencia del equipo para garantizar la seguridad del instrumento;
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS details

Escritorio RTP

* Calefacción con lámpara infrarroja halógena, enfriamiento mediante enfriamiento por aire;
* Control de temperatura PlD para la potencia de la lámpara, lo que puede controlar con precisión el aumento de temperatura, asegurando buena reproducibilidad y uniformidad térmica;
* La entrada de material se establece en la superficie del WAFER para evitar la producción de puntos fríos durante el proceso de recocido y asegurar una buena uniformidad térmica del producto;
* Se pueden seleccionar tanto métodos de tratamiento a presión atmosférica como bajo vacío, con pretratamiento y purificación del cuerpo;
* Dos conjuntos de gases de proceso son estándar y se pueden expandir hasta un máximo de 6 conjuntos de gases de proceso;
* El tamaño máximo de una muestra de monocristal de silicio medible es de 12 pulgadas (300x300 MM);
* Se implementan por completo las tres medidas de seguridad de protección de apertura de temperatura segura, protección de permiso de apertura del controlador de temperatura y protección de parada de emergencia del equipo para garantizar la seguridad del instrumento;
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier
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Detalles del Equipo
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier
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Embalaje y entrega
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Perfil de la empresa
¡Contamos con 16 años de experiencia en ventas de equipos y podemos ofrecerle una solución integral para líneas de Equipos de Envasado de IC!
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