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  • Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS
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Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS

Descripción del producto

Procesamiento térmico rápido

Equipos RTP para semiconductores compuestos, SlC, LED y MEMS
* Crecimiento de óxidos y nitruros.
* Aleación rápida de contacto óhmico
* Recocido de aleación de siliciuro
* Reflujo de oxidación
* Proceso de arseniuro de galio
* Otros procesos de tratamiento térmico rápido
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para fábrica de semiconductores compuestos SlC LED MEMS
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para la fabricación de MEMS LED SlC de semiconductores compuestos
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para la fabricación de MEMS LED SlC de semiconductores compuestos
Feature

RTP de doble cámara completamente automático

* Compatible con oblea de 6-8 pulgadas
* La temperatura máxima puede alcanzar los 1250°c.
* Reproducibilidad de temperatura estable
* Diseño de doble cámara completamente automático para aumentar la capacidad de producción.
* Uniformidad del campo de temperatura ultra alta.
* Satisfacer la demanda del proceso de producción en masa SlC
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para la fabricación de MEMS LED SlC de semiconductores compuestos
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS proveedor

RTP semiautomático

* Calefacción del tubo de la lámpara halógena infrarroja, refrigeración mediante refrigeración por aire;
* Control de temperatura PlD para la potencia de la lámpara, que puede controlar con precisión el aumento de temperatura, asegurando una buena reproducibilidad y uniformidad de temperatura;
* La entrada del material se fija en la superficie de la WAFER para evitar la producción de puntos fríos durante el proceso de recocido y asegurar una buena uniformidad de temperatura del producto;
* Se pueden seleccionar métodos de tratamiento tanto atmosférico como al vacío, con pretratamiento y purificación del cuerpo;
* Dos conjuntos de gases de proceso son estándar y se pueden ampliar hasta 6 conjuntos de gases de proceso;
* El tamaño máximo de una muestra de silicio monocristalino medible es de 12 pulgadas (300 x 300 mm);
* Las tres medidas de seguridad de protección de apertura de temperatura segura, protección de permiso de apertura del controlador de temperatura y protección de seguridad de parada de emergencia del equipo se implementan completamente para garantizar la seguridad del instrumento;
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS proveedor
Detalles del equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS

RTP de escritorio

* Calefacción del tubo de la lámpara halógena infrarroja, refrigeración mediante refrigeración por aire;
* Control de temperatura PlD para la potencia de la lámpara, que puede controlar con precisión el aumento de temperatura, asegurando una buena reproducibilidad y uniformidad de temperatura;
* La entrada del material se fija en la superficie de la WAFER para evitar la producción de puntos fríos durante el proceso de recocido y asegurar una buena uniformidad de temperatura del producto;
* Se pueden seleccionar métodos de tratamiento tanto atmosférico como al vacío, con pretratamiento y purificación del cuerpo;
* Dos conjuntos de gases de proceso son estándar y se pueden ampliar hasta 6 conjuntos de gases de proceso;
* El tamaño máximo de una muestra de silicio monocristalino medible es de 12 pulgadas (300 x 300 mm);
* Las tres medidas de seguridad de protección de apertura de temperatura segura, protección de permiso de apertura del controlador de temperatura y protección de seguridad de parada de emergencia del equipo se implementan completamente para garantizar la seguridad del instrumento;
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS proveedor
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para fábrica de semiconductores compuestos SlC LED MEMS
Detalles del equipo
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS proveedor
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para fábrica de semiconductores compuestos SlC LED MEMS
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para la fabricación de MEMS LED SlC de semiconductores compuestos
Detalles del equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS
Embalaje y Entrega
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para fábrica de semiconductores compuestos SlC LED MEMS
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para semiconductores compuestos SlC LED MEMS proveedor
Perfil de la empresa
¡Tenemos 16 años de experiencia en la venta de equipos y podemos brindarle una solución integral de equipos de línea de paquetes IC!
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para fábrica de semiconductores compuestos SlC LED MEMS
Equipo RTP Procesamiento térmico rápido para fábrica de semiconductores compuestos SlC LED MEMS




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