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Elipsómetro Espectroscópico

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Descripción del Producto

Elipsómetro Espectroscópico

El elipsómetro espectral puede completar pruebas automáticas rápidas y multipunto, y puede evaluar la homogeneidad de la muestra con un solo clic. El producto está equipado con polarizador, analizador y compensador que cuentan con dispositivos de bloqueo de posición de alta precisión con función de compensación de banda absoluta, lo que mejora la precisión y estabilidad del sistema. Se utiliza una arquitectura de doble fibra para mejorar la eficiencia de recolección de luz, permitiendo recopilar espectros suficientes de superficies pulidas con ácido o frentes piramidales convencionales para su prueba y análisis. También cuenta con funciones básicas como enfoque automático, selección de intensidad de luz y compensación de fase.
Diseñado para el análisis de alta precisión y alta eficiencia de las propiedades ópticas de los materiales. Puede realizar de manera automática, rápida y
medir con precisión el índice de refracción, el coeficiente de extinción y el espesor del filme de los materiales. Es adecuado para las necesidades de caracterización de películas delgadas y materiales en investigación científica, semiconductores, fotovoltaicos, recubrimientos ópticos, paneles de visualización y otros campos.

Objeto de Medición：

Recubrimiento óptico: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2,Pi.
Pantalla: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), electrodos(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaico: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Semiconductor: Photoresist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Otros: OCD, materiales 2-D, heterojunção de Van der Waals y dispositivo...

Función del producto:

Medición del índice de refracción: Medir con precisión el índice de refracción de los materiales a diferentes longitudes de onda, proporcionando datos clave para el diseño óptico e investigación de materiales.
Medición del coeficiente de extinción: Analizar las características de absorción de luz de los materiales para ayudar a optimizar el rendimiento de los dispositivos optoelectrónicos.
Medición del grosor de la película: Soporta la detección del grosor de películas de nanómetro a nivel micrónico con alta resolución y buena repetitividad.
Prueba automática rápida: Con función de escaneo automático multipunto, la velocidad de medición alcanza 1 segundo/punto, lo que mejora considerablemente la eficiencia de las pruebas por lotes.

Principio de medición:

El principio de medición de elipsometría se basa en el cambio del estado de polarización de la luz reflejada antes y después de la superficie del medio, para obtener información sobre las propiedades ópticas y la estructura.
El campo eléctrico del haz incidente se descompone en dos direcciones verticales, con luz p paralela a la vibración de la luz
onda, s luz perpendicular a la vibración de la onda luminosa. Las amplitudes y fases de las luces p y S cambiarán cuando el haz se refleje desde la superficie del medio.
La correlación entre las características físicas del medio y el cambio de estado de polarización.

Entorno de trabajo del instrumento:

Potencia: 220VAC+10%
Temperatura ambiente: temperatura del entorno (10-30)℃
Humedad relativa: (20-80)% RH

Espectrómetro:

Unidad de detección: detector CCD de 2048 píxeles con retroiluminación rápida
Parámetros detallados:
1. rango espectral superior a 350nm-1000nm
2. luz parasita <0.02%@400nm
3. relación señal-ruido 4800
4. rango dinámico 50000:1
5. camino de luz holográfico
6. resolución digital 16-bit
7. velocidad de lectura >400kHz
8. velocidad de transmisión de datos 600MB/s
9. tiempo mínimo de integración/paso de ajuste 6 us/1us
10. retraso de disparo externo 95ns+/–20ns
11. interfaz de computadora USB4.1C/2.0
12. sistema operativo Win 7/in 8/Win 10
rendimiento medio QE en la región UV de CCD con retroiluminación, rendimiento medio QE ≥75% Sistema de enfriamiento micro TE, la temperatura después del enfriamiento es de 30°C
inferior a la temperatura ambiente.
Método de integración controlado por software con configuración automática del tiempo de integración, puede lograr lo mejor

Sistema de fuente de luz:

Fuente de luz lámpara halógena con bombilla de cuarzo, rango de longitud de onda 350nm-2000nm, sin degradación, vida útil superior a 50000 horas.
Suministro de energía independiente para lámpara halógena, voltaje 4.9vd

Escenario con función de enfoque automático:

Mueva la muestra a la mejor posición de medición con la función de enfoque automático. Recorrido: 100mm
Precisión: 0.0005mm. Limitación de ubicación con límites positivos y negativos y sensor de posición cero; la posición inicial, la posición final y el tamaño del paso de la función de enfoque automático se pueden configurar en el software utilizando el método de regresión gaussiana; configure el tiempo de integración especificado y recopile la intensidad del método Focus
Estructura del producto
Especificación
Sistema óptico:
Ángulo de incidencia
65°
Desviación del haz
< 0.3°
Parámetros de medición
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polarizadores
Glan-Thompson
Material
a-BBO
Compensador
retardo de fase de cuarto de onda, hiper acromático
Selección de intensidad
Elemento de selección de densidad óptica lineal. Asegura una buena relación señal-ruido en el proceso de medición, mejora la precisión de los datos,
evita que la intensidad de luz sea demasiado saturada o demasiado débil para reducir la relación señal-ruido y la precisión
Diseño óptico
fibra dual transmite la luz de la lámpara al espectrómetro a través de elementos de polarización; trayectoria de luz estable, fácil de cambiar las lámparas
Fibra
pasivación anti-UV; NA=0.22; apertura clara 600um
Micro punto de luz
diámetro ≤200um, para distinguir entre la luz útil reflejada por la superficie frontal y la luz inútil reflejada por la
superficie inferior, fácil de desmontar
Ranura
1 50um, para distinguir entre la luz útil reflejada desde la superficie frontal y la luz inútil reflejada desde la parte inferior
superficie
Tabla de selección de parámetros básicos:
Rango espectral
350-1000nm
C
Visibles
210-1000nm
UC
UV-Visible
210-1700nm
No
UV-Vis-NIR
Compensador óptico
Rc
Compensador individual
RC2
C2
Compensador dual
Rango espectral
X-Y
M
Recorrido grande hasta 230mm
X-R
R
Gran diámetro hasta 300mm
Embalaje y entrega
Perfil de la empresa
Minder-Hightech es el representante de ventas y servicio en el equipo de la industria de productos semiconductores y electrónicos. Desde 2014, la empresa está comprometida con proporcionar a los clientes Soluciones Superiores, Confiables y Todo en Uno para equipos de maquinaria.
Preguntas frecuentes
1. Acerca del Precio:
Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía dependiendo de la configuración y la complejidad de personalización de tu dispositivo.

2. Acerca de la Muestra:
Podemos proporcionarte servicios de producción de muestras, pero es posible que debas cubrir algunos gastos.

3. Acerca del Pago:
Una vez confirmado el plan, necesitas pagar un depósito primero, y la fábrica comenzará a preparar los productos. Después de que el equipo esté listo y pagues el saldo, lo enviaremos.

4. Acerca de la Entrega:
Una vez que se completa la fabricación del equipo, te enviaremos el video de aceptación, y también puedes venir al lugar para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y Ajuste:
Después de que el equipo llegue a tu fábrica, podemos enviar ingenieros para instalar y ajustar el equipo. Te proporcionaremos una cotización separada por este costo de servicio.

6. Acerca de la garantía:
Nuestro equipo tiene un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.

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