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MDLB-MC200

Limpiador de fotomáscaras

Unidad de limpieza:

La cámara de limpieza está procesada con materiales resistentes a la corrosión, que tienen una superficie lisa y son fáciles de limpiar. Hay un puerto de descarga de desechos en la parte inferior de la cavidad interna, que utiliza la gravedad para permitir que el líquido de desecho se descargue en la tubería de descarga de desechos de la fábrica. Hay un puerto de succión dentro de la cavidad, que puede extraer oportunamente la atmósfera de la cavidad. Equipado con 3 brazos oscilantes automáticos, puede lograr una limpieza automática.

Tabla de parámetros de configuración:

No.	Proyectos	Especificaciones	observaciones
1	Descripción general del equipo	Nombre del dispositivo: Photomask Cleaner
		Modelo de equipo: MDLB-MC200
		Dimensiones generales (aproximadamente): 1300 mm (ancho) x 1000 mm (profundidad) x 1950 mm (alto)
		Peso total de la máquina (aproximadamente): 300 kg
		Altura de la mesa de operaciones: 900 ± 50 mm
		Especificaciones del tamaño del sustrato: adecuado para placas de máscara cuadradas de 2/4/5/6/8 pulgadas
		Flujo de proceso: colocación manual de obleas → limpieza (cepillo, solución de limpieza → agua a alta presión → agua megasónica → agua desionizada → secado con gas nitrógeno) → extracción manual de obleas
		Tipo de equipo: semiautomático, carga y descarga manual.
2	Construcción de equipos	Carcasa: acero inoxidable, lisa, resistente a la corrosión, fácil de limpiar.
		Cámara de limpieza: PP, lisa, resistente a la corrosión, fácil de limpiar.
		Tubería: se utiliza una tubería que combina PU/PFA
		Iluminación de trabajo: iluminación de luz amarilla anticorrosión.
		Estilo de apertura de puerta: Puerta doble con función de alarma de apertura de puerta
		Pantalla táctil: Pantalla táctil a todo color de 10 pulgadas * 1
		FFU: Clase 100
		Soporte inferior a prueba de fugas: disponible
3	Servomotor de alta precisión	Cantidad: 1
		Velocidad: -3000~3000 rpm	Carga vacía
		Aceleración máxima de rotación del husillo: 3000 rpm/s	Carga vacía
		Precisión de velocidad: ± 1 rpm (50 rpm ~ 3000 rpm)
		Resolución de velocidad: 1 rpm
4	Brazo oscilante automático	Cantidad: 3
4	Brazo oscilante automático	Velocidad del brazo oscilante: 1~30 °/s
5	unidad de limpieza	Limpieza del brazo oscilante: 1 canal de agua desionizada, 1 canal de gas nitrógeno Brazo Megasónico: 1 Megasónico, 1 Agua a Alta Presión Brazo de cepillo: 1 cepillo, 1 agua, 1 solución de limpieza
		Método de limpieza: limpieza automática.
		Función de succión de agua desionizada: disponible
		Retrolavado (agua desionizada): 1 ruta
		Método de suministro: Solución de limpieza: Bomba de diafragma Agua desionizada: suministrada directamente por fábrica.
		Tanque de presión con detección de nivel de líquido
6	Cepillo cepillo	Cantidad: 1 (con función de autolimpieza)
		Velocidad: hasta 1000 rpm, velocidad ajustable
		Altura ajustable manualmente
7	Bandeja de carga	Cantidad: 5
		Material: PPS + acero inoxidable
		Tamaño: Adecuado para placas de máscara cuadradas de 2/4/5/6/8 pulgadas
		Método de fijación del sustrato: Método de fijación con garras
8	Sistema de control	Sistema de control: utilizando control PLC
		Programa: 100 grupos, cada grupo consta de 100 pasos, con un tiempo máximo de paso único de 3000.0 segundos Resolución: 0.1 s
		El programa se puede guardar, llamar, modificar y eliminar.
		Establecer permisos de cifrado: para operadores de dispositivos, técnicos, administradores y fabricantes respectivamente
		Tipo de torre de señal: rojo, amarillo, verde 3 colores