Proyectos |
Contenido |
Tipo de Producto |
Oblea de 6", 8" y 12", embalaje 2.5D/3D |
Inspección 2D Objetos |
Objetos extraños, pegamento residual, partículas, rayones, grietas, contaminación, desviación de CP, marcas excesivas de agujas, etc. |
Metrología 2D |
Diámetro de protuberancia, coordenadas de marca de aguja, metrología RDL y TSV, etc. |
Proyecto de inspección 3D |
Altura de la protuberancia, coplanalidad de la protuberancia |
Método de transmisión y casete |
8"SMIF, 12"FOUP o combinación |
Lente y resolución |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
Precisión |
0.55 um/píxel |
Opcional y personalizado |
OCR de doble cara, módulo 3D, compatible con E84 |
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