Proyectos
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Contenido
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Tipo de Producto
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Oblea de 6", 8" y 12", embalaje 2.5D/3D
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Inspección 2D
Objetos |
Objetos extraños, pegamento residual, partículas, rayones, grietas, contaminación, desviación de CP, marcas excesivas de agujas, etc.
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Metrología 2D
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Diámetro de protuberancia, coordenadas de marca de aguja, metrología RDL y TSV, etc.
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Proyecto de inspección 3D
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Altura de la protuberancia, coplanalidad de la protuberancia
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Método de transmisión y casete
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8"SMIF, 12"FOUP o combinación
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Lente y resolución
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2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
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Precisión
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0.55 um/píxel
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Opcional y personalizado
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OCR de doble cara, módulo 3D, compatible con E84
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