Máquina de limpieza de wafer de chip único totalmente automática Lavadora de wafer
Características de la máquina
Cámara simple, cámara doble y cámara cuádruple Capacidad de proceso fuerte, capaz de soportar aplicaciones como Wafer Start y limpieza de proceso Buena consistencia de la tecnología inter chip del equipo
Campos de Aplicación
Eliminación de partículas superficiales de waferes basados en silicio y compuestos de 4-8 pulgadas
Parámetros técnicos
cámara de cepillo de 4, 6 y 8 pulgadas Velocidad del spinner hasta 4000RPM Cámara de cepillo de brazo dual, disponible con métodos de limpieza Brush, AS, JET, Megasonics Puede soportar función de limpieza líquida
Unidad LoadPort, unidad de carga
LoadPort es la unidad de carga de este dispositivo
Capaz de realizar Wafer Mapping Equipado con detección de deslizamiento de Wafer
Unidad de Transferencia Robot
Robot de Doble Cuchilla, opcional con cuchillas de tipo vacío o bandeja.
Unidad de alineación y volteo
Puede alinear y localizar bordes planos El disco puede ser volteado para limpiar el fondo del cristal
Unidad de cepillado
Cantidad de Brazos de Cepillado * 2 Mandril de disco: Tipo de pinza o succión Modos de limpieza, Cepillo, AS, JET, Megasonido, con soporte para limpieza farmacéutica
1. Soporta entrada y salida simultánea de disco, así como modos de entrada A y salida B 2. Puede soportar el cepillado del frente de la cámara A y la parte trasera de la cámara B 3. Puede soportar la limpieza paralela de doble cámara
Descripción de la unidad de cepillo
Como se muestra en la figura Wafer fijo en la parte superior del Spinner
Brazo1&Brazo2 pueden ser utilizados en combinación con varios métodos de cepillado descritos anteriormente para limpiar los wafers.
Después de la limpieza, el Spinner gira a alta velocidad para centrifugar y secar el wafer
Unidad de alineación y volteo
El wafer puede ser utilizado con fines residenciales y de nivelación
El wafer puede ser volteado
Tamaño del equipo: 160x150x220 (mm) Métodos de carga y descarga: entrada y salida por el mismo lado & entrada A y salida B Número de unidades de cepillado: 2 Modos de cepillado: Cepillado, AS, JET, métodos de limpieza Megasonics, que admiten la limpieza farmacéutica
Embalaje y entrega
Perfil de la empresa
Preguntas frecuentes
1. Acerca del Precio: Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía dependiendo de la configuración y la complejidad de personalización de tu dispositivo.
2. Acerca de la Muestra: Podemos proporcionarte servicios de producción de muestras, pero es posible que debas cubrir algunos gastos.
3. Acerca del Pago: Una vez confirmado el plan, debe pagarnos un depósito primero, y la fábrica comenzará a preparar los bienes. Después de que el equipo esté listo y pagues el saldo, lo enviaremos.
4. Acerca de la Entrega: Una vez que se completa la fabricación del equipo, te enviaremos el video de aceptación, y también puedes venir al lugar para inspeccionar el equipo.
5. Instalación y Ajuste: Después de que el equipo llegue a tu fábrica, podemos enviar ingenieros para instalar y ajustar el equipo. Te proporcionaremos una cotización separada por este costo de servicio.
6. Acerca de la garantía: Nuestro equipo tiene un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.
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