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Descripción del producto

Máquina de limpieza de obleas de un solo chip totalmente automática Depurador de obleas

Características de la máquina

Cavidad simple, dos cavidades y cuatro cavidades.
Fuerte capacidad de proceso, capaz de soportar aplicaciones como Wafer Start y limpieza de procesos.
Buena consistencia de la tecnología entre equipos y chips

Los campos de aplicación

Eliminación de partículas superficiales de obleas de silicio y de compuestos de 4 a 8 pulgadas

Parámetros técnicos

Cavidad de cepillo de 4 pulgadas, 6 pulgadas y 8 pulgadas
Velocidad del centrifugador hasta 4000 RPM
Cámara de cepillo de doble brazo, disponible en métodos de limpieza Brush, AS, JET y Megasonics
Puede soportar la función de limpieza de líquidos.

Equipo de fabricación de obleas de sustrato semiconductor de producto Máquina de limpieza de obleas de un solo chip completamente automática Depurador de obleas-51

Unidad LoadPort, unidad de carga

LoadPort es la unidad de carga de este dispositivo

Capaz de mapeo de obleas
Equipado con detección de diapositivas de obleas

Unidad de robot de transferencia

Robot de doble cuchilla, opcional con cuchillas tipo vacío o bandeja.

Unidad de alineación y volteo

Puede alinear y ubicar bordes planos.
La oblea se puede voltear para limpiar el cristal.

Unidad de cepillado

Brazo de cepillado Cantidad * 2
Mango de oblea: tipo abrazadera de mandril o de succión
Modos de limpieza con cepillo, AS, JET y Megasonics, compatible con la limpieza farmacéutica

1. Admite entrada y salida Wafer simultáneamente, así como modos de entrada A y salida B.
2. Puede ayudar a cepillar la parte delantera de la cámara A y la parte trasera de la cámara B.
3. Puede soportar limpieza paralela de doble cámara.

Descripción de la unidad de cepillo

Como se muestra en la figura
Oblea fijada en la parte superior del Spinner

Arm1 y Arm2 se pueden utilizar junto con varios métodos de cepillado. Descrito anteriormente para limpiar obleas.

Después de la limpieza, el Spinner gira a alta velocidad para centrifugar y secar la oblea.

Unidad de alineación y volteo

La oblea se puede utilizar para fines residenciales y de nivelación.

La oblea se puede voltear

Tamaño del equipo: 160x150x220 (mm)
Métodos de carga y descarga: mismo ingreso y mismo egreso, A ingreso y B egreso
Número de unidades de cepillado: 2
Modos de cepillado: métodos de limpieza Brush, AS, JET y Megasonics, compatible con la limpieza farmacéutica

Embalaje y Entrega

Perfil de la empresa

Preguntas Frecuentes

1. Sobre el precio:
Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía según la configuración y la complejidad de personalización de su dispositivo.

2. Acerca de la muestra:
Podemos brindarle servicios de producción de muestras, pero es posible que deba pagar algunas tarifas.

3. Acerca del pago:
Una vez confirmado el plan, primero debe pagarnos un depósito y la fábrica comenzará a preparar los productos.
El equipo está listo y usted paga el saldo y lo enviamos.

4. Acerca de la entrega:
Una vez finalizada la fabricación del equipo, le enviaremos el video de aceptación y también podrá venir al sitio para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y depuración:
Una vez que el equipo llegue a su fábrica, podemos enviar ingenieros para instalarlo y depurarlo. Le proporcionaremos un presupuesto por separado para este servicio.

6. Acerca de la garantía:
Nuestros equipos tienen un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.