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Modelo |
MDS-UC08 |
MDS-UC12 |
MDHYS82 |
MDHYS122 |
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Tamaño máximo del wafer |
6’’&8’’ |
12” |
6’’&8’’ |
12” |
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fuente de luz |
Lámpara LED, longitud de onda 365nm, intensidad de luz ≥ 1000mJ/cm2 |
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Tipo de membrana |
Membrana UV |
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Duración de la lámpara |
10000h |
10000h |
20000H |
20000H |
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Fuente de alimentación |
AC220V,5A |
AC220V,5A |
AC220V,6A |
AC220V,6A |
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Dimensión General W*D*H |
650mm*420mm*250mm |
570mm*630mm*340mm |
780mm*620mm*295mm |
930mm*790mm*350mm |
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Peso |
30KG |
60kg |
55kg |
75kg |
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Características funcionales |
Carga y descarga manual de wafer El tiempo de irradiación se puede establecer de manera arbitraria Equipado con ventilador de enfriamiento La operación de un solo clic es cómoda y rápida El equipo tiene función de autoprotección Se puede personalizar según la demanda |
Carga y descarga manual de wafer El tiempo de irradiación se puede establecer de manera arbitraria Equipado con ventilador de enfriamiento Función opcional de llenado de nitrógeno Sensor de energía UV incrustado opcional Se puede personalizar según la demanda |
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