Parámetro técnico | Modo de medición | PSI/VSI/superprofundidad de campo/campo brillante |
Campo de visión de medición único (lente objetivo de 20×) | 500*350 μm (cosido automático) | |
Ajuste de ángulo | ±12° manual | |
Ajuste del eje Z | 20 mm eléctrico + 50 mm manual (mecanismo de ajuste grueso y fino) | |
Rango de escaneo longitudinal | 0-10mm | |
Resolución longitudinal | <0.2 nm | |
Repetibilidad de la medición de la rugosidad longitudinal | 0.01 nm (modo PSI) | |
Error de indicación de la altura del escalón multiplataforma | <0.75 % (modo VSI) | |
Resolución lateral: @550nm | 0.69 μm (lente objetivo 20×) | |
Reflectividad de muestra medible | 0.1% -100% | |
Tiempo de medición | <5 s (modo PSI) | |
Función de análisis | Función de análisis | Medición de altura 3D, análisis de rugosidad 3D, medición de dimensiones 2D |
Salida de datos 3D | Datos de nube de puntos 3D, datos de imágenes en escala de grises, informe personalizado |
Ampliación objetiva | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Apertura numérica | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Resolución óptica a 550 nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Profundidad de enfoque (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Distancia de trabajo (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
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