Parámetro técnico |
Modo de medición |
PSI/VSI/super campo de profundidad/campo brillante |
Campo de visión de medición individual (lente objetivo 20×) |
500*350μm (ensamblaje automático) |
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Ajuste de ángulo |
±12° manual |
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Ajuste del eje Z |
20mm eléctrico + 50mm manual (mecanismo de ajuste grueso y fino) |
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Rango de escaneo longitudinal |
0-10mm |
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Resolución longitudinal |
<0.2nm |
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Repetibilidad de la medición de rugosidad longitudinal |
0.01nm (modo PSI) |
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error de indicación de la altura del escalón medidas |
<0.75% (modo VSI) |
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Resolución lateral: @550nm |
0.69μm (lente objetiva de 20×) |
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Reflectividad de la muestra medible |
0.1%-100% |
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Tiempo de medición |
<5s (modo PSI) |
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Función de análisis |
Función de análisis |
medición de altura en 3D, análisis de rugosidad en 3D, medición de dimensiones en 2D |
salida de datos en 3D |
datos de nube de puntos en 3D, datos de imagen en escala de grises, informe personalizado |
Aumento del objetivo |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Apertura numérica |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Resolución óptica @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Profundidad de enfoque (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Distancia de trabajo (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
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