Proceso Seco de Dicing:
Marcador y Rompedor de Wafer / Equipo de Marcado y Rotura de Wafer
Adecuado para equipos especializados para corte y dividición de materiales de wafer de semiconductor compuesto, como GaN, GaAs, InP, etc., con un diámetro de menos de 4 pulgadas. Ampliamente utilizado en dispositivos láser, detectores de luz y dispositivos de microondas para segmentación por división.
Cabeza de corte |
Dirección X |
Rango de desplazamiento: 120mm |
Presión del rodillo |
0~100gf |
Precisión de posicionamiento: 5 μm |
Presión del cuchillo |
0~20gf |
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Dirección Y |
Rango de desplazamiento: 100mm |
Peso del Equipo |
alrededor de 60 kg |
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Precisión de posicionamiento: ±5 μm |
Dirección Y del lente |
Rango de viaje: 650*650*400mm |
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Dirección T |
Rotación de 360 Grados |
Dimensiones externas |
1170mmx730 mmx500mm |
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Tamaño de la wafer |
Adecuado para waferes de 4 pulgadas (100mm) |
Interfaz de operación |
Pantalla TFT de 19.5" con interfaz en chino |
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Sistema de imagen |
Ampliación de 6.0X (4.0X opcional) |
Sistema de Control |
Sistema operativo Windows 7, software de control dedicado para máquinas de fisión |
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Configuración estándar |
Equipo principal \ Computadora \ Pantalla de 19.5" \ Software de Control de Máquina Divisora ESD \ Ratón y Teclado |
Solución integral para la línea de equipos de la industria semiconductora:
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