Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Kodu
Meist
MH seadmed
Lahendus
Ülemere kasutajad
Video
Võta meiega ühendust
Avaleht> Esiotsa protsess

Kahekambriline RIE (Cl₂) kohandamine

Aeg: 2024-11-08

Reaktiivne ioonide söövitamise süsteem

Pakkuge klientidele professionaalselt kohandatud lahendusi

Kahekambriline RIE (Cl₂) kohandamine

Veebruaris 2024 saime kliendilt taotluse 100 mm vahvli klooriprotsessi jaoks.

See on meie jaoks huvitav rakendus, kuna vajalik protsessigaas sisaldab mürgiseid gaase Cl2 ja BCl3. Peame täiustama kõiki masina konfiguratsioone, et vältida ohutusprobleeme, ning spetsiaalselt konstrueerinud protsessikambri ja ülekandekambri kahekambrilise struktuuri, et kaitsta operaatorit täiuslikult, täites samal ajal protsessi nõudeid.

Pärast umbes 5 kuud kestnud projekteerimist ja tootmist viisime ettevõtte siselaboris läbi mitu näidistesti ja tootmissimulatsiooni ning tarnisime seadmed kiiresti pärast kliendipoolse aktsepteerimise läbimist.

RIE.jpg

RIE1_02.jpgRIE1_07.jpgRIE1_10.jpgRIE2_03.jpg

RIE打包1.jpgRIE打包2.jpg

Küsitlus E-POST WhatsApp WeChat
top