Reaktiivne ioonide söövitamise süsteem
Pakkuge klientidele professionaalselt kohandatud lahendusi
Kahekambriline RIE (Cl₂) kohandamine
Veebruaris 2024 saime kliendilt taotluse 100 mm vahvli klooriprotsessi jaoks.
See on meie jaoks huvitav rakendus, kuna vajalik protsessigaas sisaldab mürgiseid gaase Cl2 ja BCl3. Peame täiustama kõiki masina konfiguratsioone, et vältida ohutusprobleeme, ning spetsiaalselt konstrueerinud protsessikambri ja ülekandekambri kahekambrilise struktuuri, et kaitsta operaatorit täiuslikult, täites samal ajal protsessi nõudeid.
Pärast umbes 5 kuud kestnud projekteerimist ja tootmist viisime ettevõtte siselaboris läbi mitu näidistesti ja tootmissimulatsiooni ning tarnisime seadmed kiiresti pärast kliendipoolse aktsepteerimise läbimist.
Autoriõigus © Guangzhou Minder-Higtech Co., Ltd. Kõik õigused kaitstud