Mis on kiirtermilise töötlemise (RTP) süsteemi eesmärk vahvlite tootmisprotsessis?

RTP kasutab soojusallikana halogeen-infrapunalampe, et materjal kiiresti soovitud temperatuurini soojendada, parandades seeläbi materjali kristallstruktuuri ja optoelektroonilisi omadusi.

Selle funktsioonide hulka kuulub kõrge efektiivsus, energiasääst, kõrge automatiseerituse tase ja ühtlane küte.

Lisaks on RTP-l ka kõrge temperatuuri reguleerimise täpsus ja temperatuuri ühtlus, mis suudab rahuldada erinevate keerukate protsesside vajadusi.

Lisaks võtab RTP kasutusele täiustatud mikroarvuti juhtimissüsteemi ja suletud ahelaga PID temperatuuri reguleerimise tehnoloogia, sellel on kõrge temperatuuri reguleerimise täpsus ja temperatuuri ühtlus ning see suudab rahuldada erinevate keerukate protsesside vajadusi.

Kasutades tõhusaid soojusallikaid, näiteks halogeen-infrapunalampe, et kuumutada vahvli kiiresti eelnevalt kindlaksmääratud temperatuurini, saab kõrvaldada mõned vahvli sees olevad defektid ning parandada selle kristallstruktuuri ja optoelektroonilist jõudlust.

See ülitäpne temperatuurikontroll on vahvli kvaliteedi jaoks väga oluline ja võib tõhusalt parandada vahvli jõudlust ja töökindlust.

Vahvlite valmistamise protsessis hõlmab RTP rakendamine järgmisi aspekte, kuid ei piirdu nendega:

1. Kristallstruktuuri optimeerimine:

Kõrge temperatuur aitab ümber korraldada kristalli struktuuri, kõrvaldada kristalli struktuuri defektid, parandada kristalli korrastatust ja seeläbi parandada pooljuhtmaterjalide elektroonilist juhtivust.

2. Lisandite eemaldamine:

RTP võib soodustada lisandite difusiooni pooljuhtkristallidest, vähendades lisandite kontsentratsiooni. See aitab parandada pooljuhtseadmete elektroonilisi omadusi ja vähendada energiataset või lisanditest põhjustatud elektronide hajumist.

3. CMOS-tehnoloogias saab RTP-d kasutada substraadi materjalide, nagu ränioksiid või räninitriid, eemaldamiseks, et moodustada üliõhukesed SOI-seadmed (isolaator ränil).

RTP on pooljuhtide tootmisprotsessi võtmeseade, mida iseloomustab suur täpsus, kõrge efektiivsus ja suur paindlikkus. Sellel on suur tähtsus vahvlite jõudluse parandamisel ja pooljuhtide tööstuse arengu edendamisel.