سیستم اچینگ یونی راکتیو
به طور حرفه ای راه حل های سفارشی را برای مشتریان ارائه دهید
سفارشی سازی دو محفظه RIE (Cl2).
در فوریه 2024، درخواستی از یک مشتری برای فرآیند کلر ویفر 100 میلی متری دریافت کردیم.
این یک کاربرد جالب برای ما است زیرا گاز فرآیند مورد نیاز حاوی گازهای سمی Cl2 و BCl3 است. ما باید تمام تنظیمات دستگاه را بهبود بخشیم تا از مسائل ایمنی جلوگیری کنیم، و به خصوص ساختار دو محفظه ای از محفظه فرآیند و محفظه انتقال را برای محافظت کامل از اپراتور در حین رعایت الزامات فرآیند طراحی کرده ایم.
پس از حدود 5 ماه طراحی و تولید، چندین آزمایش نمونه و شبیه سازی تولید را در آزمایشگاه داخلی شرکت انجام دادیم و پس از قبولی مشتری، تجهیزات را به سرعت تحویل دادیم.
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است