Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

صفحه اصلی
درباره‌ ما
تجهیزات MH
راه حل
کاربران خارج از کشور
ویدئو
تماس با ما
dual chamber rie cl customization-42
صفحه اصلی> فرآیند جلویی

سفارشی سازی Dual Chamber RIE (Cl2).

زمان: 2024-11-08

سیستم اچینگ یونی راکتیو

به طور حرفه ای راه حل های سفارشی را برای مشتریان ارائه دهید

سفارشی سازی دو محفظه RIE (Cl2).

در فوریه 2024، درخواستی از یک مشتری برای فرآیند کلر ویفر 100 میلی متری دریافت کردیم.

این یک کاربرد جالب برای ما است زیرا گاز فرآیند مورد نیاز حاوی گازهای سمی Cl2 و BCl3 است. ما باید تمام تنظیمات دستگاه را بهبود بخشیم تا از مسائل ایمنی جلوگیری کنیم، و به خصوص ساختار دو محفظه ای از محفظه فرآیند و محفظه انتقال را برای محافظت کامل از اپراتور در حین رعایت الزامات فرآیند طراحی کرده ایم.

پس از حدود 5 ماه طراحی و تولید، چندین آزمایش نمونه و شبیه سازی تولید را در آزمایشگاه داخلی شرکت انجام دادیم و پس از قبولی مشتری، تجهیزات را به سرعت تحویل دادیم.

RIE.jpg

RIE1_02.jpgRIE1_07.jpgRIE1_10.jpgRIE2_03.jpg

RIE打包1.jpgRIE打包2.jpg

dual chamber rie cl customization-51پرس و جو dual chamber rie cl customization-52پست الکترونیک (ایمیل) dual chamber rie cl customization-53واتساپ dual chamber rie cl customization-54 WeChat
dual chamber rie cl customization-55
dual chamber rie cl customization-56بالا