Système de gravure ionique réactive
Fournir des solutions professionnelles personnalisées aux clients
Personnalisation RIE (Cl₂) à double chambre
En février 2024, nous avons reçu une demande d'un client pour un procédé au chlore sur plaquettes de 100 mm.
Il s'agit d'une application intéressante pour nous car le gaz de procédé requis contient des gaz toxiques Cl2 et BCl3. Nous avons dû améliorer toutes les configurations de la machine pour éviter les problèmes de sécurité et avons spécialement conçu une structure à double chambre de la chambre de traitement et de la chambre de transfert pour protéger parfaitement l'opérateur tout en répondant aux exigences du procédé.
Après environ 5 mois de conception et de production, nous avons effectué plusieurs tests d'échantillons et simulations de production dans le laboratoire interne de l'entreprise, et avons rapidement livré l'équipement après avoir passé l'acceptation du client.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Tous droits réservés
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NON
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
