Reaktív ion marató rendszer
Professzionálisan személyre szabott megoldásokat kínál ügyfeleinek
Kétkamrás RIE (Cl₂) testreszabás
2024 februárjában egy vevőtől kérést kaptunk egy 100 mm-es ostya klóros eljárásra.
Ez egy érdekes alkalmazás számunkra, mert a szükséges technológiai gáz mérgező Cl2 és BCl3 gázokat tartalmaz. A biztonsági problémák elkerülése érdekében fejlesztenünk kell a gép összes konfigurációját, és speciálisan meg kell terveznünk a folyamatkamra és az átadó kamra kétkamrás szerkezetét, hogy tökéletesen védjük a kezelőt, miközben megfelelünk a folyamat követelményeinek.
Körülbelül 5 hónapos tervezés és gyártás után több mintavizsgálatot és gyártási szimulációt végeztünk a cég belső laboratóriumában, és a vevői átvételt követően gyorsan leszállítottuk a berendezést.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Minden jog fenntartva
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NEM
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
