Լուծում ֆոտոռեզիստը կիսահաղորդչային վաֆլիից հեռացնելու համար

Ինչու՞ հեռացնել ֆոտոռեսիստը:

Կիսահաղորդիչների արտադրության ժամանակակից պրոցեսներում մեծ քանակությամբ ֆոտոռեզիստ է օգտագործվում՝ դիմակի և ֆոտոռեզիստի զգայունության և զարգացման միջոցով վաֆլի ֆոտոռեզիստին փոխանցելու համար տպատախտակի գրաֆիկան՝ ձևավորելով հատուկ ֆոտոռեզիստական ​​գրաֆիկա վաֆլի մակերեսի վրա: Այնուհետև, ֆոտոռեսիստի պաշտպանության ներքո, նախշերի փորագրումը կամ իոնային իմպլանտացիան ավարտվում է ստորին թաղանթի կամ վաֆլի սուբստրատի վրա, և բնօրինակ ֆոտոռեզիստը ամբողջությամբ հեռացվում է:

Գունազերծումը ֆոտոլիտոգրաֆիայի վերջին քայլն է: Գրաֆիկական պրոցեսների ավարտից հետո, ինչպիսիք են փորագրումը/իոնային իմպլանտացիան, վաֆլի մակերևույթի վրա մնացած ֆոտոռեզիստը կատարել է օրինաչափության փոխանցման և պաշտպանիչ շերտի գործառույթները և ամբողջությամբ հեռացվում է կապակցման գործընթացի միջոցով:

Ֆոտոռեզիստի հեռացումը շատ կարևոր քայլ է միկրոսարքավորման գործընթացում: Անկախ նրանից, թե ֆոտոռեզիստը ամբողջությամբ հեռացված է, և արդյոք այն վնասում է նմուշին, ուղղակիորեն կազդի ինտեգրալ շղթայի չիպերի արտադրության հետագա գործընթացների արդյունավետության վրա:

Որո՞նք են կիսահաղորդչային ֆոտոռեզիստենտի հեռացման գործընթացները:

Կիսահաղորդչային ֆոտոռեսիստների հեռացման գործընթացը սովորաբար բաժանվում է երկու տեսակի՝ թաց ֆոտոռեզիստի հեռացում և չոր ֆոտոռեզիստի հեռացում: Թաց մաքրումը կարելի է բաժանել երկու կատեգորիայի՝ ելնելով մաստակազերծող միջավայրի տարբերությունից՝ օքսիդացումից և լուծիչով մաստակահանում:

Սոսինձի հեռացման տարբեր մեթոդների համեմատություն.

Ինչպես երևում է վերը նշված նկարից, չոր անջատումը հարմար է կապակցման գործընթացների մեծ մասի համար՝ մանրակրկիտ և արագ անջատումով, ինչը այն դարձնում է լավագույն մեթոդը գոյություն ունեցող կապակցման գործընթացների մեջ: Միկրոալիքային ՊԼԱԶՄԱ անջատման տեխնոլոգիան նույնպես չոր անջատման տեսակ է:

Minder-Hightech-ի միկրոալիքային PLASMA անջատող մեքենան հագեցած է առաջին կենցաղային միկրոալիքային կիսահաղորդչային կապակցման գեներատորի տեխնոլոգիայով՝ հագեցած մագնիսական հեղուկի պտտվող շրջանակով, որն ավելի արդյունավետ և միատեսակ է դարձնում միկրոալիքային պլազմայի ելքը: Այն ոչ միայն լավ կապող ազդեցություն ունի, այլ նաև կարող է հասնել ոչ կործանարար սիլիկոնային վաֆլիների և այլ մետաղական սարքերի: Եվ տրամադրեք «միկրոալիքային վառարան+Բիաս ՌԴ» կրկնակի էներգիայի մատակարարման տեխնոլոգիա՝ հաճախորդների տարբեր կարիքները բավարարելու համար: