Notkun plasmahreinsunartækni í Mini LED iðnaði

Í LED iðnaðarkeðjunni er andstreymis framleiðsla á LED lýsandi efnum og flísaframleiðslu, miðstraumurinn er LED tæki umbúðaiðnaður og niðurstreymi er iðnaðurinn sem myndast við notkun LED skjáa eða ljósabúnaðar.

Þróun umbúðatækni með lágt hitauppstreymi, framúrskarandi sjónræna eiginleika og mikla áreiðanleika er nauðsynleg leið fyrir nýjar LED til að verða hagnýtar og koma inn á markaðinn.

Umbúðir eru tengsl iðnaðar og markaðar. Aðeins þegar vel er pakkað getur það orðið að lokaafurð og komið í hagnýt notkun.

Í pökkunarferli Mini LED, ef það eru agnamengunarefni, oxíð og epoxýplastefni á flísinni og undirlaginu, mun það hafa bein áhrif á afrakstur Mini LED vara. Plasmahreinsun áður en lím er afgreitt, blýbinding og pökkunarhersla meðan á pökkunarferlinu stendur getur í raun fjarlægt þessi mengunarefni.

 Meginreglur um plasmahreinsun

Efnafræðilegir eða eðlisfræðilegir ferlar eru notaðir til að meðhöndla yfirborð hlutar, til að fjarlægja mengunarefni á sameindastigi (venjulega með þykkt 3-30nm), og þar með bæta yfirborðsvirkni hlutarins.

Mengunarefnin sem á að fjarlægja geta verið lífræn efni, epoxýplastefni, ljósþol, oxíð, mengunarefni öragna osfrv.

Samsvarandi við mismunandi mengunarefni ætti að nota mismunandi hreinsunarferli. Það fer eftir völdum vinnslugasi, plasmahreinsun má skipta í:

Efnahreinsun: Plasmahreinsun, einnig þekkt sem PE, þar sem yfirborðsviðbrögð eru aðallega efnahvörf.

Líkamleg þrif: Plasmahreinsun, einnig þekkt sem sputtering corrosion (SPE), þar sem yfirborðsviðbrögð eru aðallega líkamleg viðbrögð.

Eðlis- og efnahreinsun: Bæði eðlisfræðileg og efnafræðileg viðbrögð gegna mikilvægu hlutverki í yfirborðsviðbrögðum.

Lítil LED pökkunarferlisflæði

Notkun plasmahreinsunar í Mini LED pökkunarferli

Í Mini LED pökkunarferlinu geta mismunandi hreinsunarferli náð kjörnum árangri fyrir mismunandi mengunarefni og byggt á undirlagi og flísefnum. Hins vegar getur það leitt til lélegrar hreinsunarárangurs að nota rangt ferli gaskerfis og jafnvel úreldingar.

Til dæmis, ef silfurflögur eru unnar með súrefnisplasmatækni, geta þær verið oxaðar, svertar eða jafnvel eytt. Almennt eru agnir og oxíð hreinsuð með plasma með blöndu af vetni og argongasi. Gullhúðuð efnisflögur geta notað súrefnisplasma til að fjarlægja lífræn efni, en silfurflögur geta það ekki.

Að velja viðeigandi plasmahreinsunarferli í Mini LED umbúðum má gróflega skipta í eftirfarandi þrjá þætti:

Með því að bera saman snertihornsgögnin fyrir og eftir plasmahreinsun má sjá að hægt er að sýna beint fram á virkjun yfirborðs efnisins, fjarlægingu oxíða og öragna mengunarefna með togstyrk og vætanleika bindileiðanna á yfirborði efnisins.

Plasma hreinsivél

Val á plasmahreinsun í umbúðatækni fer eftir kröfum síðari ferla fyrir yfirborð efnisins, eiginleikum yfirborðs efnisins, efnasamsetningu og eiginleikum mengunarefna. Plasmahreinsivélar geta aukið viðloðun, bleyta og áreiðanleika sýna og mismunandi ferli munu nota mismunandi lofttegundir.

Sérhannaðar lofttæmi LED photoresist fjarlægingarlausn