MDLB-MC200 Pulitore di Fotomask

- No, no, no.

Progetto

Specifiche

Osservazioni

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Panoramica dell'attrezzatura

Nome dispositivo: Pulitore di Photomask

Modello di attrezzatura: MDLB-MC200

Dimensioni complessive (circa): 1300mm (L) * 1000mm (P) * 1950mm (A)

Peso totale della macchina (circa): 300KG

Altezza del piano operativo: 900 ± 50mm

Specifiche delle dimensioni del substrato: adatto a lastre quadrate di maschera da 2/4/5/6/8 pollici

Flusso di processo: posizionamento manuale della wafer → pulizia (spazzola, soluzione di pulizia → acqua a alta pressione → acqua megasonica → acqua deionizzata → asciugatura a gas di azoto) → rimozione manuale della wafer

Tipo di attrezzatura: semi-automatico, caricamento e scaricamento manuale

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Costruzione dell'attrezzatura

Guscio: acciaio inossidabile, liscio, resistente alla corrosione, facile da pulire

Camera di pulizia: PP, liscia, resistente alla corrosione, facile da pulire

Condotta: si utilizza una condotta in PU/PFA abbinata

Illuminazione del lavoro: illuminazione con luce gialla antincorrosiva

Stile di apertura della porta: Porta doppia con funzione di allarme per l'apertura della porta

Schermo tattile: schermo tattile a colori da 10 pollici * 1

FFU: Classe 100

Supporto antiperdita: disponibile

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Servomotore ad alta precisione

Quantità: 1

Velocità: -3000~3000 giri/min

Carico zero

Accelerazione massima della rotazione del perno: 3000giri/min*S

Carico zero

Precisione di velocità: ± 1giri/min (50giri/min~3000giri/min)

Risoluzione di velocità: 1giri/min

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Braccio oscillante automatico

Quantità: 3

Velocità del braccio oscillante: 1~30 °/S

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Unità di pulizia

Braccio di pulizia: 1 canale di acqua deionizzata, 1 canale di gas azoto

Braccio Megasonico: 1 Megasonico, 1 Acqua a Pressione Alta

Braccio con spazzola: 1 spazzola, 1 acqua, 1 soluzione di pulizia

Metodo di pulizia: pulizia automatica

Funzione di aspirazione dell'acqua deionizzata: disponibile

Risciacquo (acqua deionizzata): 1 percorso

Metodo di fornitura: Soluzione di pulizia: Pompa a diaframma

Acqua deionizzata: fornita direttamente dalla fabbrica

Serbatoio a pressione con rilevamento del livello di liquido

6

Spazzola

Quantità: 1 (con funzione di auto-pulizia)

Velocità: fino a 1000rpm, velocità regolabile

Altezza regolabile manualmente

7

Vassoio per il carico

Quantità: 5

Materiale: PPS+acciaio inossidabile

Dimensioni: Adatto per piastre mascherine quadrate da 2/4/5/6/8 pollici

Metodo di fissaggio del substrato: Metodo di fissaggio con griffe

8

Sistema di Controllo

Sistema di controllo: utilizzo del controllo PLC

Programma: 100 gruppi, ciascuno composto da 100 passaggi, con un tempo massimo singolo di 3000.0 secondi

Risoluzione: 0.1S

Il programma può essere salvato, richiamato, modificato e cancellato

Imposta le autorizzazioni di cifratura: per gli operatori del dispositivo, i tecnici, gli amministratori e i produttori rispettivamente

Tipo di torre segnalale: rosso, giallo, verde 3 colori