Dimensioni del wafer
|
wafer da 4”~ 8”
|
Spessore del wafer
|
100~750 micron
|
Tipo di wafer
|
Si, SiC, GaN o altri materiali
|
Tipo di film
|
Pellicola blu, pellicola UV
Larghezza: 230 ~ 300 mm Lunghezza: 100 m Spessore: 0,05 ~ 0,2 mm |
Anello portavassoi
|
6”, 8” DISCO
|
Metodo di caricamento e scaricamento
|
Posizionamento e rimozione manuale del vassoio/anello
|
Precisione di posizionamento della pellicola
|
±0.5mm
Piastre standard per wafer da 6” e 8” per wafer da 6” e 8” |
Pompa a vuoto
|
Minder-Hightech
|
Controllo antistatico
|
Ventola a deionizzazione
|
unità di controllo
|
Basato sul controllo PLC, con schermo touch da 10”
|
Protezione sicurezza
|
Dotato di protezione a cortina luminosa e pulsante di emergenza
|
tensione di alimentazione
|
Monofase AC 220V, 16A
|
Aria Compressa
|
0,45~0,6MPa, debito 70L/min
|
Cassa della macchina
|
Cassa metallica imbiancata in plastica bianca
|
Volume
|
850mm (larghezza)*1750mm (profondità)*1970mm (altezza)
|
Peso netto
|
480 kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved