Lucidatrice chimica meccanica automatica per wafer a piastra singola CMP, Cina Produttori, Fornitori, Fabbrica di Lucidatrice chimica meccanica automatica per wafer a piastra singola CMP

Descrizione del prodotto

ATOM Piastra singola CMP

Caratteristiche della macchina

Il dispositivo è flessibile e può supportare più teste.
La capacità di processo dell'attrezzatura è vicina al livello del modello corrente di prodotti delle stesse dimensioni.
Buona coerenza del processo tra dispositivi.

Campi di applicazione

Lucidatura STI, ILD/IMD, TSV, TGV da 4-8 pollici e lucidatura superficiale di composti come SiC, LT, LN, GaAs, ecc.

parametri tecnici

Teste da 4 pollici, 6 pollici, 8 pollici, controllo multizona
Tipo di piastra Φ20 pollici 508MM
Precisione del controllo della pressione della testa <0.05 PSI
Precisione del controllo della velocità di rotazione della testa e del piatto <2RPM

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-53

1. Unità LoadPort

La porta può essere capovolta per immergere la cassetta nel Qtank, evitando la formazione di cristalli di fanghi sulla
superficie lucidata del Wafer. Dotato di funzione Cassette Mapping.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-54

2. Unità robotizzata di recupero materiale

Dotato di un robot a 4 assi, è in grado di trasferire automaticamente i wafer dalla cassetta all'unità di lucidatura.

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3. Unità lucidatrice

Questa unità è dotata di Platen * 1, Head * 1, PC *
1, braccio di sospensione * 1, HCLU * 1 e endpoint EPD
rilevamento. Può realizzare il caricamento e lo scaricamento automatico dei wafer, il controllo della testa multizona, la sospensione
modifica del punto di atterraggio con impostazioni della ricetta, rilevamento dell'endpoint e altre funzioni.

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Testa lucidatrice CMP

Le teste lucidatrici configurate su questo dispositivo sono tutte sviluppate, progettate e prodotte in modo indipendente dalla nostra azienda.
Tra questi, la testa da 4 pollici a 3 cavità è un prodotto unico creato dalla nostra azienda, che colma il divario di nessuna testa da 4 pollici multi cavità in Cina. La nostra azienda può modificare o personalizzare rapidamente la testa in base alle caratteristiche del prodotto del cliente. Nello sviluppo dei prodotti a film sottile TGV (200um), la struttura interna della testa è stata modificata per soddisfare i requisiti della lucidatura a film sottile. Durante il processo di sviluppo della tecnologia di lucidatura LN surface OX, la nostra azienda ha profondamente aggiornato la testa da 6 pollici e ha soddisfatto con successo i requisiti del prodotto del cliente.

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Applicazioni

Processo tradizionale di lucidatura della planarizzazione dei circuiti integrati;

Processo TGV/TSV;

CMP per taglio intelligente e pre-incollaggio;

Lucidatura del substrato SIC/lucidatura dell'arseniuro di gallio.

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Specificazione

Porto	Quantità * 1, con Q-tank
Robot	Quantità * 1, per il trasferimento di wafer
HCLU	Quantità * 1, per il carico e lo scarico automatico dei wafer
Testa lucidante	Quantità * 13 controllo cavità, precisione di controllo di 0.1 PSI, può supportare operazioni wafer 400-1200 UM.
Velocità testa lucidante	5-150RPM
Disco di lucidatura	Quantità * 1 disco lucidante dimensioni 508 mm, velocità tampone lucidante 10-150 giri/min.
Braccio di rifinitura	Quantità * 1 tampone di lucidatura. Il tampone di lucidatura può essere lucidato online (simultaneamente) o offline (dopo la lucidatura). La rifinitura Il braccio è dotato di un albero di rifinitura, che può ruotare e muoversi su e giù, e la velocità e la deportanza possono essere controllate. l'utensile di rifinitura è installato sull'albero di rifinitura e può essere rapidamente rimossi. In base ai diversi tipi di tamponi lucidanti, vengono configurati diversi tipi di utensili di ravvivatura, tra cui la ravvivatura spazzole, anelli diamantati e dischi diamantati.
Unità di controllo della pressione dell'aria della testa di lucidatura UPA	Quantità * 13Zona regolabile per un migliore effetto di planarizzazione della superficie
Pompa di alimentazione del liquido lucidante	Quantità * 2. Le pompe peristaltiche vengono utilizzate per l'alimentazione di liquidi, con 2 pompe peristaltiche configurate per fornire diverse lucidature liquidi al disco lucidante. Ogni pompa può essere utilizzata in qualsiasi fase del processo.
Braccio di liquame	Quantità * 1 può controllare il punto di atterraggio della poltiglia e può pulire il tampone lucidante.
Il sistema di controllo operativo può ottenere il controllo a livello utente, come la modalità operatore, la modalità di manutenzione e la modalità tecnica e var Le modalità ious sono controllate da password. Il software di sistema può modificare i parametri di processo di ogni fase del processo e appiattire e lucidare il film sottile sulla superficie del chip secondo il programma. Può monitorare lo stato di funzionamento dell'apparecchiatura, monitorare parametri di processo in tempo reale, e il software può memorizzare automaticamente vari dati di processo. Dotato di un arresto di emergenza pulsante, utilizzato per arrestare immediatamente il funzionamento dell'apparecchiatura e interrompere l'alimentazione di controllo.

Imballaggio e consegna

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Profilo Aziendale

FAQ

1. Informazioni sul prezzo:
Tutti i nostri prezzi sono competitivi e negoziabili. Il prezzo varia a seconda della configurazione e della complessità di personalizzazione del tuo dispositivo.

2. Informazioni sul campione:
Possiamo fornirti servizi di produzione di campioni, ma potresti dover indicare delle tariffe.

3. Informazioni sul pagamento:
Dopo che il piano è stato confermato, devi prima versarci un deposito e la fabbrica inizierà a preparare la merce. Dopo il
l'attrezzatura è pronta e tu paghi il saldo, noi la spediremo.

4. Informazioni sulla consegna:
Una volta completata la produzione dell'attrezzatura, ti invieremo il video di accettazione e potrai anche recarti sul posto per ispezionare l'attrezzatura.

5. Installazione e debug:
Dopo che l'attrezzatura arriva alla tua fabbrica, possiamo inviare ingegneri per installare e mettere a punto l'attrezzatura. Ti forniremo un preventivo separato per questa tariffa di servizio.

6. Informazioni sulla garanzia:
La nostra attrezzatura ha un periodo di garanzia di 12 mesi. Dopo il periodo di garanzia, se alcune parti sono danneggiate e devono essere sostituite, addebiteremo solo il prezzo di costo.