Fonte di plasma
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RF+BIAS
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Potenza
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1000W
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1000W
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600 W
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600 W
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Ambito applicabile
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4-8 inches
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Conteggio delle fette da elaborare singolarmente
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uno
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Dimensioni di aspetto
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1140mm x 1050mm x 1620mm
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controllo del sistema
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Sistema di Controllo Industriale
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Livello di automazione
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Manuale
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