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  • Pulizia di Wafer Semiconduttore dopo l'Incisione ICP Plasma Sperimentale per la Rimozione di Fotoresist
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Pulizia di Wafer Semiconduttore dopo l'Incisione ICP Plasma Sperimentale per la Rimozione di Fotoresist

Descrizione del Prodotto

Macchina sperimentale plasma ICP per rimozione fotoresist

Rimozione di polimeri, etching di ossido di silicio o carburo di silicio, pulizia della superficie dopo l'etching
Rimozione di polimeri ASHING Rimozione secca della maschera dura Rimozione della fotoresistenza dopo l'implantazione ionica Rimozione della resistenza ottica tra i media Rimozione della fotoresistenza nel processo BAW/SAW Pulizia secca del film grafico antiriflesso Etching dell'ossido o nitruro di silicio Rimozione dei residui superficiali Pulizia della superficie dopo l'etching Etching del carburo di silicio
Clean Semiconductor Wafer after Etching ICP Experimental Plasma Removing Photoresist Machine supplier
Clean Semiconductor Wafer after Etching ICP Experimental Plasma Removing Photoresist Machine factory
Clean Semiconductor Wafer after Etching ICP Experimental Plasma Removing Photoresist Machine details
Clean Semiconductor Wafer after Etching ICP Experimental Plasma Removing Photoresist Machine manufacture
Clean Semiconductor Wafer after Etching ICP Experimental Plasma Removing Photoresist Machine factory
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Specifiche
Fonte di plasma
RF+BIAS
Potenza
1000W
1000W
600 W
600 W
Ambito applicabile
4-8 inches
Conteggio delle fette da elaborare singolarmente
uno
Dimensioni di aspetto
1140mm x 1050mm x 1620mm
controllo del sistema
Sistema di Controllo Industriale
Livello di automazione
Manuale
Fabbrica
Clean Semiconductor Wafer after Etching ICP Experimental Plasma Removing Photoresist Machine supplier
Clean Semiconductor Wafer after Etching ICP Experimental Plasma Removing Photoresist Machine manufacture
Imballaggio & consegna
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Profilo dell'azienda
16 anni di esperienza nell'esportazione di attrezzature! Possiamo fornirvi una soluzione completa per i processi e le attrezzature della Front End dei Semiconduttori!
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