Progetto
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Contenuto
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Tipo di prodotto
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6", 8", 12" frame wafer
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elementi di ispezione 2D
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Corpi estranei, colla residua, particelle, graffi, crepe, contaminazione, deviazione CP, area eccessiva, ecc.
Deviazione e scalfittura del canale di taglio |
Elementi di controllo del percorso di taglio
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6", 8", 12" frame cassetee
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Lente e Risoluzione
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2x(2.75μm) / 3.5x(1.57μm) /
5x(1.1μm) / 7.5x(0.73μm) / 10x(0.55μm) |
Precisione
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0.55μm/pixel
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Opzionale e Personalizzato
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Modulo INK, modulo IR
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