Sistema litografico senza maschera MCXJ-MLS8, Cina Produttori, Fornitori, Fabbrica del sistema litografico senza maschera MCXJ-MLS8

Descrizione del prodotto

Esempio:

Fabbricazione del sistema di litografia senza maschera MCXJ-MLS8

Schema della struttura dell'attrezzatura

Fornitore del sistema di litografia senza maschera MCXJ-MLS8

Specificazione

Diagramma della struttura dell'host dell'esposizione

La struttura	illustrare
Esporre il piano di lavoro	Area di esposizione: piano di lavoro, area di posizionamento del substrato
Sistema ottico	Area stampaggio ad emissione laser
Sistema di controllo ambientale	Controllare la temperatura interna e la pressione positiva del dispositivo
Sistema di piattaforma	Controlla il movimento del piano di esposizione per completare l'operazione del percorso di esposizione
Sistema di controllo	Sistema di controllo dell'intera attrezzatura

Nota: poiché l'aggiornamento della macchina può modificare l'aspetto reale, lo specifico è soggetto al prodotto reale.

No.	Ambiente	Richiedere
1	Ambiente della sorgente luminosa	Luce gialla
2	Temperatura	22 ℃ ± 2 ℃
3	Umidità	50% ± 10%
4	Pulizia	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200 l/min, aria secca e pulita
6	Alimentazione elettrica	220~240 V、50/60Hz、2.5KW；Il cavo di terra deve essere collegato a terra,
7	acqua di raffreddamento	Temp.:10℃~20℃ Pressione: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Portata: 20 l/min Differenza di pressione: 0.3 MPa Prendi il controllo del calibro: Rc3/8
8	LOCATION	livello: ±3 mm/3000 mm, scossa: cuscinetto VC-B: 750 kg/㎡
10	Internet	Una porta di rete
11	formato della macchina	1300 * * 1100 2100mm
12	Peso del dispositivo	1500 kg

No.	Progetto	Spec.	osservazione
1	Risoluzione	0.6um/o altro requisito	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Spessore del supporto	0.2 mm ～ 4 mm
4	Precisione della griglia della data	60nm
5	Copertura	± 500 nm	130mmx130mm
6	Precisione della cucitura	± 200 nm	AZ703
7	Dimensione massima dell'esposizione	190X190mm
8	Throughput	≥300mm2/min	≤50 mJ/cm2;
9	sorgente luminosa	LD 375 nm
10	potere leggero	6W
11	Uniformità energetica	≥95%
12	vita leggera	10000hr

Imballaggio e consegna

Profilo Aziendale

Abbiamo 16 anni di esperienza nella vendita di attrezzature. Siamo in grado di fornirvi una soluzione professionale per apparecchiature di linea di pacchetto front-end e back-end a semiconduttore one-stop dalla Cina.