Unità ospite al plasma sotto vuoto(150) |
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Dimensione dell'attrezzatura |
L 1100×P 940×A 1755mm |
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peso |
600Kg |
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Richiesta di alimentazione |
AC380V, 50/60Hz, 5 linee, 25A (tipo aperto totale sopra C) |
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Specifiche del generatore di plasma |
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energia |
frequenza radio |
frequenza intermedia |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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frequenza di alimentazione |
13.56MHz |
40 KHz |
Sistema di vuoto |
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pompa da vuoto |
Pompa monopolo Leap VSV 65 + Pompa Bowse Lotti BSJ 70 |
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tubazione del vuoto |
Tutta la linea in acciaio inossidabile, nonché soffietti per vuoto ad alta resistenza |
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qualità del materiale |
alufer |
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spessore |
25mm |
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strettezza |
Sigillo di saldatura di livello militare |
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Dimensioni interne della cavità |
500*500*600mm (Larghezza* altezza * profondità) |
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Dimensione effettiva della piastra elettrica |
372(L) X 451(P)mm |
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Spaziatura disponibile |
24mm |
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Disposizione della placca |
Piastra portaelettrodi orizzontale |
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vassoi |
Set standard, materiale opzionale (alluminio, rete metallica in acciaio) |
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spazio di lavoro |
strato 8 |
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Gas di processo |
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Campo di portata |
0~300SCCM |
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Percorso del gas di processo |
Standard a due vie, può essere personalizzato. Il gasdotto di processo è realizzato in ferrofllon |
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Sistema di controllo |
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SC |
controllo PC |
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modalità interattiva |
Interfaccia Windows |
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