Unità host plasma sottovuoto(150) | ||||
Dimensione dell'attrezzatura | L 1100×P 940×A 1755mm | |||
peso | 600Kg | |||
Richiesta di alimentazione | AC380V, 50/60Hz, 5 linee, 25A (tipo aperto totale sopra C) | |||
Specifiche del generatore di plasma | ||||
energia | frequenza radio | frequenza intermedia | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
frequenza di alimentazione | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Sistema di vuoto | ||||
pompa da vuoto | Pompa monopolo Leap VSV 65 + Pompa Bowse Lotti BSJ 70 | |||
tubazione del vuoto | Tutta la linea in acciaio inossidabile, nonché soffietti per vuoto ad alta resistenza | |||
qualità del materiale | alufer | |||
spessore | 25mm | |||
strettezza | Sigillo di saldatura di livello militare | |||
Dimensioni interne della cavità | 500*500*600mm (Larghezza* altezza * profondità) | |||
Dimensione effettiva della piastra elettrica | 372(L) X 451(P)mm | |||
Spaziatura disponibile | 24mm | |||
Disposizione della placca | Piastra portaelettrodi orizzontale | |||
vassoi | Set standard, materiale opzionale (alluminio, rete metallica in acciaio) | |||
spazio di lavoro | strato 8 | |||
Gas di processo | ||||
Campo di portata | 0~300SCCM | |||
Percorso del gas di processo | Standard a due vie, può essere personalizzato. Il gasdotto di processo è realizzato in ferrofllon | |||
Sistema di controllo | ||||
SC | controllo PC | |||
modalità interattiva | Interfaccia Windows |
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