Ospite del plasma sotto vuoto(200) |
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Dimensione dell'attrezzatura |
1050×1700×1050mm (larghezza, altezza e profondità) |
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peso |
800Kg |
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potenza della domanda |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
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Specifiche del generatore di plasma |
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alimentazione di rete |
frequenza radio |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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Frequenza di potenza |
13.56MHz |
40 KHz |
Sistema di vuoto |
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pompa da vuoto |
Pompa unipolare Feiyue VSV100+Pompa entrambe le radici BSJ70 |
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linea del vuoto |
Tutti i tubi in acciaio inossidabile e soffietti per vuoto ad alta resistenza |
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materiale |
Lega di alluminio |
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spessore |
25mm |
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strettezza |
Sigillo saldato di grado militare |
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Dimensioni interne della cavità |
600×600×600mm(L×A×P) |
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Dimensione effettiva della piastra dell'elettrodo |
472 X 451 mm (L×P) |
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spazio disponibile |
35mm |
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Disposizione della piastra degli elettrodi |
Piastra portaelettrodi orizzontale |
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vassoio da lavoro |
Un set è standard e il materiale è opzionale (alluminio, rete d'acciaio) |
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Area di lavoro |
piani 8 |
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Gas di processo |
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Campo di portata |
0~300SCCM |
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Circuito del gas di processo |
Dotato di gas a tre vie O2, Ar, N2 |
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Sistema di controllo |
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controllo del sistema |
controllo PC |
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modalità interattiva |
Interfaccia Windows |
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