Unità principale a plasma vuoto (200) |
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Dimensioni dell'attrezzatura |
1050×1700×1050mm(larghezza, altezza e profondità) |
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Peso |
800kg |
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potenza richiesta |
AC380V,50/60Hz,5fili, 30A |
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Specifiche del generatore a plasma |
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alimentazione elettrica |
Frequenza Radio |
IF |
0~1000W |
0-2000w |
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Frequenza di alimentazione |
13,56 MHz |
40 KHz |
Sistema di vuoto |
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Pompa a vuoto |
Pompa unipolare Feiyue VSV100 + Pompa radice BSJ70 bilanciata |
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linea di vuoto |
Tutte le tubazioni in acciaio inossidabile e membrane a vuoto ad alta resistenza |
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Materiale |
Lega di alluminio |
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Spessore |
25mm |
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ermeticità |
Sigillo saldato di livello militare |
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Dimensioni interne della camera |
600×600×600mm (L×A×P) |
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Dimensione effettiva della piastrella elettroda |
472 X 451mm (L×P) |
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spazio disponibile |
35mm |
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Disposizione della piastrella elettroda |
Piastra elettroda orizzontale |
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vassoio di lavoro |
Un set è standard, e il materiale è opzionale (alluminio, rete metallica) |
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spazio di lavoro |
8 piani |
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Gas di processo |
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Intervallo di flusso |
0~300SCCM |
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circuito del gas di processo |
Dotato di O2, Ar, N2 gas a tre vie |
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Sistema di Controllo |
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controllo del sistema |
Controllo PC |
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modalità interattiva |
Interfaccia Windows |
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