Ospite del plasma sotto vuoto (200) | ||||
Dimensione dell'attrezzatura | 1050×1700×1050mm (larghezza, altezza e profondità) | |||
peso | 800Kg | |||
potenza della domanda | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Specifiche del generatore di plasma | ||||
alimentazione di rete | frequenza radio | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Frequenza di potenza | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Sistema di vuoto | ||||
pompa da vuoto | Pompa unipolare Feiyue VSV100+Pompa entrambe le radici BSJ70 | |||
linea del vuoto | Tutti i tubi in acciaio inossidabile e soffietti per vuoto ad alta resistenza | |||
materiale | Lega di alluminio | |||
spessore | 25mm | |||
strettezza | Sigillo saldato di grado militare | |||
Dimensioni interne della cavità | 600×600×600mm(L×A×P) | |||
Dimensione effettiva della piastra dell'elettrodo | 472 X 451 mm (L×P) | |||
spazio disponibile | 35mm | |||
Disposizione della piastra degli elettrodi | Piastra portaelettrodi orizzontale | |||
vassoio da lavoro | Un set è standard e il materiale è opzionale (alluminio, rete d'acciaio) | |||
Area di lavoro | piani 8 | |||
Gas di processo | ||||
Campo di portata | 0~300SCCM | |||
Circuito del gas di processo | Dotato di gas a tre vie O2, Ar, N2 | |||
Sistema di controllo | ||||
controllo del sistema | controllo PC | |||
modalità interattiva | Interfaccia Windows |
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