Unità host plasma sottovuoto (60)
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Dimensione dell'attrezzatura
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L 950×P 900×A 1650mm
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peso
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350Kg
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Richiesta di alimentazione
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AC380V, 50/60Hz, 5 linee, 16A (tipo aperto totale sopra C)
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Specifiche del generatore di plasma
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energia
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frequenza radio
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frequenza intermedia
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0 ~ 600W
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0-1000W
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frequenza di alimentazione
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13.56MHz
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40 KHz
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Sistema di vuoto
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pompa da vuoto
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Pompa rotativa a doppio stadio (pompa olio): 40 m3/h
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tubazione del vuoto
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Tutta la linea in acciaio inossidabile, nonché soffietti per vuoto ad alta resistenza
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qualità del materiale
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Lega di alluminio (cavità in acciaio inossidabile personalizzabile)
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spessore
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25mm
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strettezza
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Sigillo di saldatura di livello militare
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Dimensioni interne della cavità
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375*375*430mm(Larghezza* altezza * profondità)
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Dimensione effettiva della piastra elettrica
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247*281 mm (larghezza* profondità)
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Spaziatura disponibile
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22mm
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Disposizione della placca
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Disposizione orizzontale, può essere estrazione attiva
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vassoi
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Set standard, materiale opzionale (alluminio, rete metallica in acciaio)
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spazio di lavoro
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strato 6
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gas di processo
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Campo di portata
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0~300SCCM
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Percorso del gas di processo
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Standard a due vie, può essere personalizzato. Il gasdotto di processo è realizzato in ferrofllon
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navare
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SC
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PLC
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modalità interattiva
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Touchscreen da 7 pollici
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