Unità host plasma sottovuoto (60) | ||||
Dimensione dell'attrezzatura | L 950×P 900×A 1650mm | |||
peso | 350Kg | |||
Richiesta di alimentazione | AC380V, 50/60Hz, 5 linee, 16A (tipo aperto totale sopra C) | |||
Specifiche del generatore di plasma | ||||
energia | frequenza radio | frequenza intermedia | ||
0 ~ 600W | 0-1000W | |||
frequenza di alimentazione | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Sistema di vuoto | ||||
pompa da vuoto | Pompa rotativa a doppio stadio (pompa olio): 40 m3/h | |||
tubazione del vuoto | Tutta la linea in acciaio inossidabile, nonché soffietti per vuoto ad alta resistenza | |||
qualità del materiale | Lega di alluminio (cavità in acciaio inossidabile personalizzabile) | |||
spessore | 25mm | |||
strettezza | Sigillo di saldatura di livello militare | |||
Dimensioni interne della cavità | 375*375*430mm(Larghezza* altezza * profondità) | |||
Dimensione effettiva della piastra elettrica | 247*281 mm (larghezza* profondità) | |||
Spaziatura disponibile | 22mm | |||
Disposizione della placca | Disposizione orizzontale, può essere estrazione attiva | |||
vassoi | Set standard, materiale opzionale (alluminio, rete metallica in acciaio) | |||
spazio di lavoro | strato 6 | |||
gas di processo | ||||
Campo di portata | 0~300SCCM | |||
Percorso del gas di processo | Standard a due vie, può essere personalizzato. Il gasdotto di processo è realizzato in ferrofllon | |||
navare | ||||
SC | PLC | |||
modalità interattiva | Touchscreen da 7 pollici |
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