Unità principale a plasma vuoto (60) |
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Dimensioni dell'attrezzatura |
L 950×P 900×A 1650mm |
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peso |
350 kg |
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Fornitura di energia a richiesta |
AC380V, 50/60Hz, 5 fili, 16A (tipo aperto totale sopra C) |
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Specifiche del generatore a plasma |
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potenza |
frequenza Radio |
frequenza intermedia |
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0~600W |
0-1000W |
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frequenza di alimentazione |
13,56 MHz |
40 K Hz |
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Sistema di vuoto |
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pompa a vuoto |
Pompa rotativa a doppia stadio (pompa ad olio): 40m3/h |
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condotta per il vuoto |
Tutta linea in acciaio inossidabile, nonché cuscinetti di vuoto ad alta resistenza |
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qualità materiale |
Lega di alluminio (personalizzabile con cavità in acciaio inossidabile) |
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spessore |
25mm |
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ermeticità |
Sigillo di saldatura di livello militare |
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Dimensioni interne della cavità |
375*375*430mm(Larghezza* altezza * profondità) |
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Dimensione effettiva della piastra elettrica |
247*281mm (larghezza* profondità) |
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Spaziatura dello spazio disponibile |
22mm |
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Disposizione elettroplastica |
Layout orizzontale, può essere estrazione attiva |
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vassoi |
Set standard, materiale opzionale (alluminio, griglia in acciaio) |
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spazio di lavoro |
6 Strati |
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gas di processo |
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Intervallo di flusso |
0~300SCCM |
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Percorso del gas di processo |
Standard con due vie, può essere personalizzato. La linea di distribuzione del gas di processo è realizzata in ferroflon |
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navar |
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SC |
PLC |
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modalità interattiva |
schermo tattile da 7 pollici |
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