MDHS-AL8 8" Macchina litografica monofacciale completamente automatica, Cina MDHS-AL8 8" Macchina litografica monofacciale completamente automatica Produttori, Fornitori, Fabbrica

Descrizione del prodotto

MDHS-AL8 8" Macchina litografica fronte-retro completamente automatica

1. Modalità di lavoro: il robot di caricamento carica automaticamente i wafer dalla scatola per wafer AB (riciclabile) al preposizionamento

banco di lavoro e attraverso la regolazione del wafer di posizionamento della telecamera e del sistema di rotazione automatica, si ottiene il preposizionamento del wafer; Il robot di caricamento carica quindi i wafer preposizionati sul banco di lavoro di allineamento. Attraverso il riconoscimento delle immagini del computer e la regolazione automatica del sistema di allineamento, è possibile ottenere l'allineamento automatico della grafica sulla maschera e sui wafer. È anche possibile completare un'esposizione senza allineare la grafica. Dopo l'esposizione automatica tramite il sistema di sovraesposizione, il robot di scarico posiziona automaticamente i wafer nella scatola dei wafer CD (riciclabili).
2. Area di esposizione: 160 × 160 mm;
3. Illuminamento con esposizione irregolare: ≤ 3%;
4. Intensità dell'esposizione: 0~≥ 40mw/cm2 regolabile (angolo del fascio 2°);
5. Angolo del raggio UV: ≤ 3 °;
6. Lunghezza d'onda centrale della luce ultravioletta: 365 nm;
7. Durata della sorgente di luce UV: ≥ 20000 ore;
8. Capacità di separazione: 0~≥ 1000um regolabile;
9. Precisione di allineamento: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Precisione dell'esposizione: esposizione al contatto ± 1 μ m. Separazione dell'esposizione vicina di 20 μ M. Angolo del fascio 2° ≤ ± 2 μ M
11. Metodi di esposizione: contatto duro, contatto morbido ed esposizione di prossimità;
12. Modalità di esposizione: è possibile scegliere tra esposizione singola o esposizione offset
13. Riconoscimento dell'immagine di preposizionamento e sistema di rotazione automatica (incluso banco di lavoro di preposizionamento): angolo di rotazione Q ≥ ± 180 °, precisione di rotazione Q ≤ 0.01 °;
14. Sistema di riconoscimento delle immagini e allineamento automatico (incluso il banco di lavoro di allineamento UVW): intervallo di allineamento XY ≥ ± 5 mm, angolo di rotazione Q ≥ ± 3 ° e due lenti del microscopio sono controllate da due piattaforme elettriche XYZ.
15. Dimensioni della maschera: 5 "× 5" e 7 "× 7";
16. Dimensioni wafer: 4" e 6";
17. Postazioni di lavoro box film superiore e inferiore: postazioni di lavoro doppie;
18. Airbag cuscino poggiapiedi
19. Carico e scarico del braccio robotico a doppio braccio: Z ≥ 350 mm, R135 mm;
20. Numero di wafer nella wafer box: determinato in base al numero di wafer presenti nella wafer box del cliente;
21. Sollevamento del tavolo di posizionamento: Z ≥ ± 25mm;
22. Tempo di esposizione: regolabile da 0 a 999.9 secondi;
23. Ritmo di produzione:>120 pezzi all'ora;
24. Alimentazione: AC220V monofase 50Hz, consumo energetico ≤ 3KW;
25. Pressione dell'aria pulita: ≥ 0.4 MPa;
26. Grado di vuoto: -0.07 MPa~-0.09 MPa;
27. Dimensioni: 1400 * 1000 * 2100 mm;
28. Peso: circa 400 kg

Fornitore di macchine litografiche monofacciali completamente automatiche MDHS-AL8 da 8

Questa macchina è costituita da una testa di esposizione ai raggi ultravioletti a LED, un sistema di riconoscimento delle immagini e di rotazione automatica, un banco di lavoro preposizionato e sistemi di riconoscimento e allineamento automatico di immagini simili, banchi di lavoro di allineamento, robot di carico, robot di scarico, scaffalature e controllo elettrico. , accessori di ricambio, ecc.

Specificazione

1. Testina di esposizione: una testina di esposizione ai raggi ultravioletti a LED (365 nm);
2. Banco di lavoro per il riconoscimento delle immagini e il preallineamento:
1) 1 fotocamera (1.3 milioni di pixel)
2) Dispositivo di posizionamento centrale
3) 1 set di piattaforma rotante (utilizzando servomotore)
4) 1 set di sistema di posizionamento
3. Riconoscimento delle immagini e sistema di allineamento automatico:
1) 2 fotocamere (frame rate elevato di 5 milioni di pixel)
2) 2 obiettivi (obiettivo 4x ad alta definizione)
3) Un computer industriale
4) Un controller (controllato da PLC)
5) Un set di piattaforme di allineamento (utilizzando un motore passo-passo a 5 fasi)
6) Una serie di sistemi sportivi
7) Il dispositivo della piastra superiore adotta un motore per il sollevamento e l'abbassamento
7) Il software adotta l'ultima versione di LabVIEW Professional Edition
4. Braccio meccanico di carico e scarico:
1) X Y. Un set di meccanismi di movimento automatico Z
2) Braccio robotico a doppio braccio (bracci di carico e scarico)
5. Meccanismo di fissaggio della scatola wafer:
1) AB è il posizionamento fisso della scatola del film di alimentazione
2) CD è il posizionamento fisso della scatola della pellicola di taglio
3) G è il posizionamento fisso della scatola della pellicola in posizione NG
6. Piattaforma fissa della fotocamera:
7. Due set di meccanismi di regolazione elettrica YZ (controllati da servomotori)
8. Rack e console di controllo elettrica:
1) 1 computer industriale
2) Un insieme di PLC;
3) Un set di elettrovalvole e sistema di controllo
4) Un set di strumenti pneumatici digitali
5) Un set di console di controllo
8. Accessori di ricambio:
1) Tracheale: 15 metri
2) 2 elettrovalvole
3) Pompa per vuoto: 1 unità
9. Dati tecnici:
1) Un manuale utente
2) Un certificato di conformità
10. Ulteriori
Il software dell'apparecchiatura deve essere dotato del protocollo di comunicazione SECS e l'acquirente fornisce una libreria dinamica con la funzione di agganciarsi al sistema MES dell'acquirente, registrando automaticamente il numero di lotto del prodotto, il numero di lavoro e lo stato operativo e caricandoli. Allo stesso tempo, ha la funzione di identificare il codice QR della piastra della maschera, confrontandolo con il codice QR della piastra della maschera del sistema MES e impedendo che venga presa la piastra della maschera sbagliata.

Imballaggio e consegna