Macchina per incisione ICP completamente automatica MDICP-5000F / Apparecchiature per semiconduttori Plasma accoppiato induttivamente, Cina Produttori, Fornitori, Fabbrica di Macchine per incisione ICP completamente automatica MDICP-5000F / Apparecchiature per semiconduttori Plasma accoppiato induttivamente

Descrizione del prodotto

MDICP-5000F Macchina per incisione ICP completamente automatica

Sintesi

L'attrezzatura è un sistema di vuoto a due camere. Una camera è la camera di campionamento dell'iniezione e l'altra è la camera di attacco. Tra la camera di campionamento dell'iniezione e la camera di incisione è installata una chiusura a vuoto e il campionamento dell'iniezione viene trasportato tramite un manipolatore.
L'apparecchiatura è composta principalmente da sistema di vuoto, sistema di circuito del gas, sistema elettrico, sistema di controllo, sistema di raffreddamento, meccanismo di alimentazione e presa della pellicola, sistema di allarme, ecc.

Sistema di vuoto

Il sistema è costituito da una pompa molecolare con una velocità di pompaggio di 600 L/S + una pompa a vuoto importata a secco con una velocità di pompaggio di L/s per pompare la camera di incisione ad alto vuoto. Tra la pompa molecolare e la camera di attacco è installata una valvola elettrica di regolazione della pressione dinamica. La pompa a secco importata è la pompa di prepompaggio della camera di incisione e la pompa dello stadio anteriore della pompa molecolare. Utilizzare un'altra pompa meccanica con velocità di pompaggio di L/s per aspirare la camera del campione. Per il collegamento tra la pompa meccanica, la camera a vuoto e la pompa molecolare vengono utilizzati soffietti in acciaio inossidabile ed è installata una valvola di blocco pneumatica elettromagnetica.

Sistema di controllo della pressione costante

L'apparecchiatura è dotata di un sistema di controllo della pressione costante a valle e nella tubazione di estrazione dell'aria è installata una valvola elettrica regolabile. Attraverso la misurazione del calibro della pellicola (parti importate), la valvola regolabile viene controllata per far sì che la camera del vuoto raggiunga una pressione costante, in modo da migliorare la stabilità del processo.

Sistema di controllo della pressione costante

Sistema di circuito del gas

Due set di alimentatori RF con abbinamento automatico.

Sistema di allarme

Requisiti di sicurezza per le apparecchiature.

Specificazione

Nome	spc	Brand	N./Imposta	Note:
Camera di incisione, tubazione di estrazione dell'aria, finestra di osservazione, interfaccia riservata, ecc	Standard	JSWN	1	Anti corrosivo
Telaio, armadio elettrico, guarnizioni, parti standard, ecc	Standard	JSWN	1
Sistema di sollevamento del coperchio della camera di incisione	Standard	JSWN	1	Anti corrosivo
Elettrodo di attacco e sistema di raffreddamento	Standard	JSWN	1	Anti corrosivo
Pompa molecolare (velocità di pompaggio 600 L/s)	FF620 / 150	kyky	1	Anti corrosivo
Pompa a secco in aspirazione (velocità di pompaggio 9 L/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Anti corrosivo
Pompa meccanica (velocità di pompaggio 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Saracinesca di regolazione elettrica	DCQ-150	JSWN	1	Anti corrosivo
Valvola pneumatica di arresto a soffietto	KF40	JSWN	3	Anti corrosivo
Calibro della pellicola	KF16	INFICON	1	Anti corrosivo
Regolatore di flusso di massa	D07	Sevenstar	4	Anti corrosivo
Valvola a membrana pneumatica	Videoregistratore da 1/4″	-	4	Anti corrosivo
Tubo in acciaio inossidabile, giunto di tubo, ecc	Videoregistratore da 1/4″	-	4	Anti corrosivo
Alimentatore RF/adattatore automatico	-	Cina(CROWN1310 opzionale)	1
Alimentatore RF/adattatore automatico	-	Cina(CROWN1310 opzionale)	1
Vacuometro composito	ZDF	RB	1
IPC	2U	Cina	1
LCD touch screen	17inch	Cina	1
Sistema di controllo PLC	S7-200	Siemens	1
Sistema di controllo della trazione elettrica	Standard	JSWN	1
Rilevamento dell'acqua di raffreddamento e sistema di tubazioni	Standard	JSWN	1
Sistema di rilevamento e conduttura dell'aria compressa	Standard	JSWN	1
Macchina per il raffreddamento dell'acqua circolante	HX	Cina	1
Acquaforte camera di iniezione	Standard	JSWN	1
Blocco del vuoto	SMC	SMC	1
Sistema di controllo del manipolatore	SMC	SMC	1

Parametro tecnico della posta

1. Vuoto limite: camera di incisione 9.0×10-5Pa (umidità interna ≤55%)
Camera di campionamento ad iniezione 6.0×10-1Pa
2. Materiale per l'incisione: Ⅲ、ⅤMateriale、Si 、SiO2, ecc.
3. Tasso di incisione: ~ 1μ/min
4. Uniformità dell'incisione: ≤±5% (intervallo φ125mm)
6. Dimensioni dell'elettrodo: φ200 mm

Imballaggio e consegna

Per garantire al meglio la sicurezza delle vostre merci, verranno forniti servizi di confezionamento professionali, ecologici, convenienti ed efficienti.

Profilo Aziendale

Abbiamo 16 anni di esperienza nella vendita di attrezzature. Siamo in grado di fornirvi una soluzione professionale per apparecchiature di linea di pacchetto front-end e back-end a semiconduttore one-stop dalla Cina.