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progetto
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Specifiche
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osservazioni
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1 |
Panoramica dell'attrezzatura |
Nome attrezzatura: Macchina completamente automatica per lo sviluppo uniforme della colla
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Modello attrezzatura: MD-2C2D6
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Specifiche wafer di elaborazione: compatibile con wafer standard da 4/6 pollici
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Flusso di processo per la colla uniforme: Taglio del cestello → centratura → colla uniforme (goccia → colla uniforme → rimozione bordo, lavaggio retro
) → piastra calda → piastra fredda → posizionamento cestello Flusso di processo di sviluppo: Taglio del cestello → centratura → sviluppo (soluzione di sviluppo → acqua deionizzata, lavaggio retro → essiccazione a nitrogeno) → piastra calda → piastra fredda → posizionamento cestello |
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Dimensioni complessive (circa): 2100mm (L) * 1800mm (P) * 2100mm (H)
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Dimensioni armadietto chimico (circa): 1700(L) * 800(P) * 1600mm (H)
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Peso totale (circa): 1000kg
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Altezza banco di lavoro: 1020 ± 50mm
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2 |
Unità cassetta
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Quantità: 2
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Dimensione compatibile: 4/6 pollici
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Rilevamento cassetta: rilevamento con microinterruttore
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Rilevamento estrazione: Sì, sensore riflesso
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3 |
robot |
Quantità: 1
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Tipo: Robot a doppio braccio con assorbimento a vuoto
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Gradi di libertà: 4 assi (R1, R2, Z, T)
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Materiale delle dita: ceramica
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Metodo di fissazione del substrato: metodo di assorbimento a vuoto
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Funzione di mappatura: Sì
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Precisione di posizionamento: ± 0,1mm
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4 |
Unità di centratura
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Quantità: 1 set
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Allineamento ottico opzionale
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Metodo di allineamento: allineamento meccanico
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Precisione di centratura: ± 0,2mm
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5 |
Unità di colla uniforme |
Quantità: 2 set (le seguenti sono le configurazioni per ogni unità)
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Velocità di rotazione della mandrita: -5000rpm~5000rpm
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rollo portante
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Precisione di rotazione dello spindle: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
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Regolazione minima della velocità di rotazione dello spindle: 1rpm
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Accelerazione massima della rotazione dello spindle: 20000rpm/s
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rollo portante
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Braccio a goccia: 1 set
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Percorso tubolare per la fotoregistrazione: 2 percorsi
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Diametro della cannula per la fotoregistrazione: 2,5mm
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Isolamento per la fotoregistrazione: 23 ± 0,5 ℃
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opzionale
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Cannula idratante: Sì
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RRC: Sì
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Buffer: Sì, 200ml
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Metodo di applicazione della colla: goccia centrale e scansione con goccia sono opzioni disponibili
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Braccio per la rimozione dei margini: 1 set
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Diametro deluggetto per la rimozione dei margini: 0.2mm
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Monitoraggio del flusso del liquido per la rimozione dei margini: misuratore a galleggiante
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Intervallo di flusso del liquido per la rimozione dei margini: 5-50ml/min
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Tubo di risciacquo: 2 vie (ogni 4/6 pollici con 1 canale)
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Monitoraggio del flusso di risciacquo: misuratore a galleggiante
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Intervallo di flusso del fluido di risciacquo: 20-200ml/min
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Metodo di fissazione del chip: piccola area di assorbimento a vuoto Chuck
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Allarme di pressione del vuoto: sensore digitale di pressione del vuoto
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Materiale della pinza: PPS
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Materiale della coppa: PP
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Monitoraggio dell'esaurimento della coppa: sensore di pressione digitale
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6 |
Unità di sviluppo |
Serranda: sì
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Quantità: 2 set (le seguenti sono le configurazioni per ogni unità)
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Velocità di rotazione della mandrita: -5000rpm~5000rpm
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rollo portante
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Precisione di rotazione dello spindle: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
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Regolazione minima della velocità di rotazione dello spindle: 1rpm
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Accelerazione massima della rotazione dello spindle: 20000rpm/s
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rollo portante
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Braccio di sviluppo: 1 set
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Tubo di sviluppo: 2 vie (ugello a ventaglio/forma cilindrica)
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Filtrazione dello sviluppatore: 0,2um
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Controllo temperatura dello sviluppatore: 23 ± 0,5 ℃
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opzionale
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Intervallo di flusso della soluzione sviluppatrice: 100~1000ml/min
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Modalità di movimento del braccio di sviluppo: punto fisso o scansione
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Braccio di fusione: 1 set
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Condotta di acqua deionizzata: 1 circuito
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Diametro della cannella per acqua deionizzata: 4mm (diametro interno)
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Intervallo di flusso dell'acqua deionizzata: 100~1000ml/min
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Condotta di asciugatura con azoto: 1 circuito
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Diametro della cannella per azoto: 4mm (diametro interno)
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Intervallo di flusso di azoto: 5-50L/min
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Monitoraggio del flusso dello sviluppatore, dell'acqua deionizzata e dell'azoto: misuratore a galleggiante
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Tubo di risciacquo: 2 vie (ogni 4/6 pollici con 1 canale)
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Monitoraggio del flusso di risciacquo: misuratore a galleggiante
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Intervallo di flusso del fluido di risciacquo: 20-200ml/min
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Metodo di fissazione del chip: piccola area di assorbimento a vuoto Chuck
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Allarme di pressione del vuoto: sensore digitale di pressione del vuoto
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Materiale della pinza: PPS
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|
Materiale della pinza: PPS
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Materiale della coppa: PP
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Monitoraggio dell'esaurimento della coppa: sensore di pressione digitale
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7 |
Unità di fissaggio |
Quantità: 2
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opzionale
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Intervallo di temperatura: temperatura ambiente~180 ℃
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Uniformità termica: Temperatura ambiente~120 ℃± 0,75 ℃
120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Rimuovere 10mm dal bordo, eccetto il foro del pistone eiettore) |
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Quantità minima di regolazione: 0,1 ° C
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Metodo di controllo della temperatura: regolazione PID
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Intervallo di altezza PIN: 0-20mm
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Materiale PIN: corpo SUS304, cappuccio PIN in PI
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Interruzione di cottura: 0,2mm
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Allarme di temperatura eccessiva: allarme per deviazione positiva e negativa
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Metodo di fornitura: Bolle, 10 ± 2ml/min
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Vuoto in funzione camera: -5-20KPa
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8 |
Unità piastra riscaldata |
Quantità: 10
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Intervallo di temperatura: temperatura ambiente~250 ℃
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Uniformità termica: Temperatura ambiente~120 ℃± 0,75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Rimuovere 10mm dal bordo, eccetto il foro del pistone eiettore) |
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Minimo aggiustamento: 0.1 ℃
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|
Metodo di controllo della temperatura: regolazione PID
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Intervallo di altezza PIN: 0-20mm
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Materiale PIN: corpo SUS304, cappuccio PIN in PI
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Interruzione di cottura: 0,2mm
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Allarme di temperatura eccessiva: allarme per deviazione positiva e negativa
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9 |
Unità piastra fredda
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Quantità: 2
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Intervallo di temperatura: 15-25 ℃
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Metodo di raffreddamento: pompa circolante a temperatura costante
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10 |
Fornitura chimica |
Archiviazione del fotoresist: pompa adesiva pneumatica * 4 set (serbatoio opzionale o pompa adesiva elettrica)
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Volume di colla erogabile: massimo 12ml per sessione, precisione ± 0,2ml
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Rimozione bordo/lavaggio retro/fornitura RRC: serbatoio sotto pressione da 18L * 2 (riempimento automatico)
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Monitoraggio livello liquido rimozione bordo/lavaggio retro/RRC: sensore fotoelettrico
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Monitoraggio livello liquido fotoresist: sensore fotoelettrico
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Scarico liquido adesivo uniforme: serbatoio di scarico da 10L
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Fornitura di sviluppatore: serbatoio sotto pressione da 18L * 4 (archiviato nel mobile chimico esterno alla macchina)
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Fornitura di acqua deionizzata: fornitura diretta dal fabbricato
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Sviluppo del monitoraggio del livello liquido: sensore fotoelettrico
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Scarico dello sviluppatore: scarico dei rifiuti della fabbrica
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Fornitura di tacker: serbatoio a pressione da 10L * 1, serbatoio a pressione da 2L * 1
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Monitoraggio del livello del tacker: sensore fotoelettrico
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11 |
sistema di Controllo |
Metodo di controllo: PLC
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Interfaccia operativa uomo-macchina: schermo tattile da 17 pollici
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Sistema di alimentazione ininterrotta (UPS): Sì
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Impostare autorizzazioni di cifratura per operatori, tecnici e amministratori
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Tipo di torre segnalale: rosso, giallo, verde 3 colori
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12 |
Indicatore di affidabilità del sistema
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Uptime: ≥95%
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MTBF: ≥ 500h
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MTTR: ≤ 4h
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MTBA: ≥24h
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Tasso di frammentazione: ≤ 1/10000
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13 |
Altre funzioni
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Luci gialle: 4 set (posizione: sopra l'unità di mescolanza e sviluppo della colla)
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THC: Sì, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2%
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opzionale
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FFU: Classe 100, 5 set (unità di processo e area ROBOT)
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AR
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CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
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LT
SR
SL
UK
VI
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HU
TH
TR
FA
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MS
GA
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