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progetto
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Specifiche
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Osservazioni
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1 |
Panoramica delle apparecchiature |
Nome dell'attrezzatura: macchina per lo sviluppo di colla completamente automatica e uniforme
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Modello dell'attrezzatura: MD-2C2D6
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Specifiche di elaborazione dei wafer: compatibile con wafer standard da 4/6 pollici
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Flusso di processo della colla uniforme: affettatura del cesto di fiori → centratura → colla uniforme (gocciolamento → colla uniforme → rimozione dei bordi, retro
lavaggio) → piatto caldo → piatto freddo → posizionamento cestello Flusso del processo di sviluppo: affettatura di cesti di fiori → centratura → sviluppo (soluzione di sviluppo → acqua deionizzata, controlavaggio → essiccazione con azoto) → piastra calda → piastra fredda → posizionamento cestello |
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Dimensioni complessive (circa): 2100 mm (L) * 1800 mm (P) * 2100 mm (A)
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Dimensioni dell'armadio chimico (circa): 1700 (L) * 800 (P) * 1600 mm (A)
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Peso totale (circa): 1000 kg
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Altezza del banco di lavoro: 1020 ± 50 mm
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2 |
Unità cassetta
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Quantità: 2
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Misura compatibile: 4/6 pollici
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Rilevamento della cassetta: rilevamento del microinterruttore
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Rilevamento dello scorrimento: sì, sensore riflettente
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3 |
robot |
Quantità: 1
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Tipo: robot di assorbimento del vuoto a doppio braccio
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Grado di libertà: 4 assi (R1, R2, Z, T)
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Materiale delle dita: ceramica
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Metodo di fissazione del substrato: metodo di adsorbimento sotto vuoto
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Funzione di mappatura: sì
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Precisione di posizionamento: ± 0.1 mm
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4 |
Unità di centraggio
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Quantità: set 1
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Allineamento ottico opzionale
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Metodo di allineamento: allineamento meccanico
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Precisione di centraggio: ± 0.2 mm
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5 |
Unità di colla uniforme |
Quantità: 2 set (quelle che seguono sono le configurazioni per ciascuna unità)
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Velocità di rotazione del mandrino: -5000 giri/min~5000 giri/min
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portando folle
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Precisione di rotazione del mandrino: ± 1 giri/min (50 giri/min~5000 giri/min)
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Regolazione minima della velocità di rotazione del mandrino: 1 giro/min
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Accelerazione massima di rotazione del mandrino: 20000 giri/min
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portando folle
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Braccio gocciolante: 1 set
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Percorso del tubo fotoresist: 2 percorsi
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Diametro ugello fotoresist: 2.5 mm
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Isolamento fotoresist: 23 ± 0.5 ℃
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opzionale
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Ugello idratante: sì
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RRC: Sì
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Tampone: Sì, 200 ml
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Metodo di rilascio della colla: il rilascio del centro e il rilascio della scansione sono opzionali
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Braccio per rimozione bordi: 1 set
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Diametro ugello per rimozione bordi: 0.2 mm
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Monitoraggio del flusso del liquido per la rimozione dei bordi: flussometro a galleggiante
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Intervallo di flusso del liquido per la rimozione dei bordi: 5-50 ml/min
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Tubazione di controlavaggio: 2 vie (4/6 pollici ciascuna con 1 canale)
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Monitoraggio del flusso di controlavaggio: flussometro a galleggiante
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Intervallo di flusso del fluido di controlavaggio: 20-200 ml/min
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Metodo di fissaggio del truciolo: mandrino ad assorbimento sotto vuoto per piccole aree
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Allarme pressione vuoto: sensore digitale di pressione vuoto
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Materiale mandrino: PPS
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Materiale della tazza: PP
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Monitoraggio scarico tazza: sensore di pressione digitale
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6 |
Unità di sviluppo |
Otturatore: sì
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Quantità: 2 set (quelle che seguono sono le configurazioni per ciascuna unità)
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Velocità di rotazione del mandrino: -5000 giri/min~5000 giri/min
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portando folle
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Precisione di rotazione del mandrino: ± 1 giri/min (50 giri/min~5000 giri/min)
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Regolazione minima della velocità di rotazione del mandrino: 1 giro/min
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Accelerazione massima di rotazione del mandrino: 20000 giri/min
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portando folle
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Braccio di sviluppo: 1 set
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Pipeline di sviluppo: 2 vie (ugello a ventaglio/colonnare)
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Filtrazione dello sviluppatore: 0.2um
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Controllo della temperatura dello sviluppatore: 23 ± 0.5 ℃
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opzionale
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Intervallo di flusso della soluzione di sviluppo: 100~1000 ml/min
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Modalità di movimento del braccio di sviluppo: punto fisso o scansione
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Braccio di fusione: 1 set
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Conduttura dell'acqua deionizzata: 1 circuito
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Diametro ugello acqua deionizzata: 4 mm (diametro interno)
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Intervallo di flusso dell'acqua deionizzata: 100~1000 ml/min
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Tubazione di essiccazione dell'azoto: 1 circuito
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Diametro ugello azoto: 4 mm (diametro interno)
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Intervallo di flusso di azoto: 5-50 l/min
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Sviluppatore, acqua deionizzata, monitoraggio del flusso di azoto: flussometro a galleggiante
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Tubazione di controlavaggio: 2 vie (4/6 pollici ciascuna con 1 canale)
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Monitoraggio del flusso di controlavaggio: flussometro a galleggiante
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Intervallo di flusso del fluido di controlavaggio: 20-200 ml/min
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Metodo di fissaggio del truciolo: mandrino ad assorbimento sotto vuoto per piccole aree
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Allarme pressione vuoto: sensore digitale di pressione vuoto
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Materiale mandrino: PPS
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|
Materiale mandrino: PPS
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Materiale della tazza: PP
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Monitoraggio scarico tazza: sensore di pressione digitale
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7 |
Unità di adesivazione |
Quantità: 2
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opzionale
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Intervallo di temperatura: temperatura ambiente ~ 180 ℃
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Uniformità della temperatura: temperatura ambiente ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (Rimuovere 10 mm dal bordo, ad eccezione del foro del perno di espulsione) |
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Quantità minima di regolazione: 0.1 °C
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Metodo di controllo della temperatura: regolazione PID
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Intervallo di altezza del PIN: 0-20 mm
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Materiale PIN: corpo SUS304, cappuccio PIN PI
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Spazio di cottura: 0.2 mm
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Allarme di sovratemperatura: allarme di deviazione positiva e negativa
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Metodo di erogazione: gorgogliamento, 10 ± 2 ml/min
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Vuoto operativo della camera: -5-20KPa
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8 |
Gruppo piastra riscaldante |
Quantità: 10
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Intervallo di temperatura: temperatura ambiente ~ 250 ℃
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Uniformità della temperatura: temperatura ambiente ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Rimuovere 10 mm dal bordo, ad eccezione del foro del perno di espulsione) |
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Importo minimo di regolazione: 0.1 ℃
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Metodo di controllo della temperatura: regolazione PID
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Intervallo di altezza del PIN: 0-20 mm
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Materiale PIN: corpo SUS304, cappuccio PIN PI
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Spazio di cottura: 0.2 mm
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Allarme di sovratemperatura: allarme di deviazione positiva e negativa
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9 |
Unità piastra fredda
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Quantità: 2
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Intervallo di temperatura: 15-25 ℃
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Metodo di raffreddamento: raffreddamento della pompa di circolazione a temperatura costante
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10 |
Fornitura chimica |
Stoccaggio fotoresist: pompa per colla pneumatica * 4 set (serbatoio opzionale o pompa per colla elettrica)
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Volume di erogazione della colla: massimo 12 ml per sessione, precisione ± 0.2 ml
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Rimozione bordi/controlavaggio/fornitura RRC: serbatoio a pressione da 18 litri * 2 (rifornimento automatico)
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Rimozione bordi/controlavaggio/monitoraggio livello liquido RRC: sensore fotoelettrico
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Monitoraggio del livello del liquido fotoresist: sensore fotoelettrico
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Scarico del liquido di scarto adesivo uniforme: serbatoio del liquido di scarto da 10 litri
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Fornitura sviluppatore: serbatoio a pressione da 18 litri * 4 (conservato nell'armadietto chimico all'esterno della macchina)
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Fornitura di acqua deionizzata: fornitura diretta in fabbrica
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Sviluppo del monitoraggio del livello dei liquidi: sensore fotoelettrico
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Scarico dei rifiuti dello sviluppatore: scarico dei rifiuti della fabbrica
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Fornitura di adesivo: serbatoio a pressione da 10 litri * 1, serbatoio a pressione da 2 litri * 1
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Monitoraggio del livello dell'adesivatore: sensore fotoelettrico
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11 |
Sistema di controllo |
Metodo di controllo: PLC
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Interfaccia operativa uomo-macchina: touch screen da 17 pollici
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Gruppo di continuità (UPS): sì
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Imposta le autorizzazioni di crittografia per operatori di dispositivi, tecnici e amministratori
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Tipo di torretta di segnalazione: rosso, giallo, verde 3 colori
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12 |
Indicatori di affidabilità del sistema
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Tempo di attività: ≥95%
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MTBF: ≥ 500 ore
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MTTR: ≤ 4 ore
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MTBA: ≥24 ore
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Tasso di frammentazione: ≤ 1/10000
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13 |
altre funzioni
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Luce gialla: 4 set (posizione: sopra l'unità di miscelazione e sviluppo colla)
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THC: Sì, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
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opzionale
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FFU: Classe 100, 5 set (unità di processo e area ROBOT)
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EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
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PL
PT
RO
RU
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SV
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SL
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