Questo apparecchio è una macchina di litografia ad alta precisione sviluppata dalla nostra azienda specificamente per le caratteristiche d'uso delle macchine di litografia in vari college e istituzioni di ricerca. Viene utilizzata principalmente per lo sviluppo e la produzione di circuiti integrati piccoli e medi, componenti semiconduttori, dispositivi ottoelettronici e dispositivi a onde acustiche superficiali. Sulla base del mantenimento dei principali indicatori tecnici originali dell'attrezzatura, abbiamo ottimizzato alcune strutture e componenti dell'attrezzatura, ridotto alcuni movimenti meccanici non necessari e garantito che i punti di guasto dell'attrezzatura siano minimizzati il più possibile, e l'operatività dell'attrezzatura è molto stabile e affidabile.
Specifiche
Principali parametri tecnici
1.Tipo di esposizione: singolo lato. 2.Area di esposizione: 110×110mm. 3.Illuminazione non uniforme durante l'esposura: ≤±3%. 4.Intensità di esposizione: regolabile da 0 a 30mw/cm2. 5.Angolo del fascio UV: ≤3°. 6.Lunghezza d'onda centrale della luce ultravioletta: 365nm. 7.Vita della sorgente luminosa UV: ≥500 ore. 8.Utilizzo di uno scatto elettronico. 9.Risoluzione di esposizione: 1 μm; 10.Ampiezza dello scanning microscopico: X: ±15mm Y: ±15mm; 11.Ampiezza allineamento: regolazione X,Y ±4mm; regolazione direzione Q ±3°; 12.Precisione di incisione: 1 μ La precisione della "versione" e del "chip" dell'utente deve conformarsi alle normative nazionali, e l'ambiente, la temperatura, l'umidità e la polvere possono essere strettamente controllati. Si utilizza una fotorésista positiva importata e lo spessore uniforme della fotorésista può essere strettamente controllato. Inoltre, i processi iniziali e finali sono avanzati; 13.Quantità di separazione; regolabile da 0~50 μm; 14.Metodo di esposizione: esposizione ravvicinata, che può raggiungere contatto duro, contatto morbido e esposizione a forza microscopica; 15.Formula di ricerca quadrata: aria
Imballaggio & consegna
Profilo dell'azienda
Abbiamo 16 anni di esperienza nella vendita di attrezzature. Possiamo fornirvi una soluzione professionale One-stop per linee di imballaggio semiconduttore di fronte e retro da parte della Cina.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
