1. Tipo di esposizione: esposizione singola faccia
2. Area di esposizione: 110X110mm;
3. Uniformità di esposizione: ≥ 97%;
4. Intensità di esposizione: 0-30mw/cm2 regolabile;
5. Angolo del fascio UV: ≤ 3 °
6. Lunghezza d'onda centrale della luce ultravioletta: 365nm;
7. Durata della sorgente luminosa UV: ≥ 20000 ore; (garanzia di 2 anni)
8. Utilizzo di uno scatto elettronico;
9. Risoluzione di esposizione: 1 μ M
10. Campo visivo della telecamera: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Intervallo di allineamento: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Precisione di allineamento: 1um (nelle condizioni ambientali favorevoli).
13. Intervallo di distanza di separazione: regolabile da 0 a 50um.
14. Metodo di esposizione: esposizione a contatto (hard/soft/micro touch).
15. Metodo di bilanciamento: galleggiamento ad aria.
16. Sistema microscopico: sistema CCD con doppio campo visivo, obiettivo 1,6X~10X, sistema di elaborazione delle immagini al computer, monitor LCD da 19"; ingrandimento totale 91-570x. Distanza dell'obiettivo: 50-120mm.
17. Dimensioni della maschera: 127*127mm; 102*102mm
18. Dimensioni del substrato: Φ102mm; Φ76mm
19. Spessore del substrato: ≤1mm
20. Tempo di esposizione: regolabile da 0 a 999,9 secondi.
21.Potenza: 220V 50Hz 1.5kw.
22.fonte d'aria? 0.4Mpa
23.Grado di vuoto: -0.07MPa~-0.09Mpa