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  • Allineatore di maschere ad alta precisione MDXN-25D4
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Allineatore di maschere ad alta precisione MDXN-25D4

Descrizione del Prodotto
Questo equipaggiamento è principalmente utilizzato per lo sviluppo e la produzione di circuiti integrati piccoli e medi, componenti a semiconduttore e dispositivi a onde acustiche superficiali. A causa del meccanismo di livellamento avanzato e della bassa forza di livellamento, questa macchina non è solo adatta alla fotografia di vari tipi di substrati, ma anche alla fotografia di substrati fragili come arsenuro di potassio e acciaio fosfato, nonché alla fotografia di substrati non circolari e piccoli.
MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture
Specifiche

Principali parametri tecnici

1. Tipo di esposizione: esposizione singola faccia
2. Area di esposizione: 110X110mm;
3. Uniformità di esposizione: ≥ 97%;
4. Intensità di esposizione: 0-30mw/cm2 regolabile;
5. Angolo del fascio UV: ≤ 3 °
6. Lunghezza d'onda centrale della luce ultravioletta: 365nm;
7. Durata della sorgente luminosa UV: ≥ 20000 ore; (garanzia di 2 anni)
8. Utilizzo di uno scatto elettronico;
9. Risoluzione di esposizione: 1 μ M
10. Campo visivo della telecamera: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Intervallo di allineamento: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Precisione di allineamento: 1um (nelle condizioni ambientali favorevoli).
13. Intervallo di distanza di separazione: regolabile da 0 a 50um.
14. Metodo di esposizione: esposizione a contatto (hard/soft/micro touch).
15. Metodo di bilanciamento: galleggiamento ad aria.
16. Sistema microscopico: sistema CCD con doppio campo visivo, obiettivo 1,6X~10X, sistema di elaborazione delle immagini al computer, monitor LCD da 19"; ingrandimento totale 91-570x. Distanza dell'obiettivo: 50-120mm.
17. Dimensioni della maschera: 127*127mm; 102*102mm
18. Dimensioni del substrato: Φ102mm; Φ76mm
19. Spessore del substrato: ≤1mm
20. Tempo di esposizione: regolabile da 0 a 999,9 secondi.
21.Potenza: 220V 50Hz 1.5kw.
22.fonte d'aria? 0.4Mpa
23.Grado di vuoto: -0.07MPa~-0.09Mpa
Imballaggio & consegna
MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner details
MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner factory
Profilo dell'azienda
Abbiamo 16 anni di esperienza nella vendita di attrezzature. Possiamo fornirvi una soluzione professionale One-stop per linee di imballaggio semiconduttore di fronte e retro da parte della Cina.
MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

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