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Descrizione del Prodotto

Microwave Plasma Cleaner

SPV-100MWR è un sistema di pulizia a plasma a microonde a bassa tensione per semiconduttori. Applicando microonde con una frequenza di 2,45GHz alla finestra sul muro della cavità vuota, viene generato un grande numero di Plasma continuo e il chip viene pulito entrando nella cavità.
New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment manufacture
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Applicazioni
New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment factory
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Specifiche
Unità principale a plasma vuoto
Dimensioni dell'attrezzatura
1230X1800X1100mm (larghezza x altezza x profondità)
Peso
450 kg
domanda di potenza
AC380V, 50/60Hz, 5 fili, 30A
Specifiche del generatore a plasma
Fonte di alimentazione per microonde
Potenza
0~1250W
Frequenza
2.45GHz
Sistema di vuoto
Materiale
Lega di alluminio (camera in acciaio inox personalizzabile)
Spessore
25mm
Dimensioni interne della cavità
480mmX470mmX480mm
Spazi di lavoro
6 sezioni di rivista
ECR
La rivista a fessura offre un miglioramento dell'effetto di elaborazione ECR
Capacità di plasma
Capacità di elaborazione
35um Pitch
40μm Bump
15X15mm Dimensioni massime del dado
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Dettagli del prodotto
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Ambiente di fabbrica
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Imballaggio & consegna
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Profilo dell'azienda
Abbiamo 16 anni di esperienza nella vendita di attrezzature e possiamo fornirti una soluzione completa per la linea di imballaggio IC!
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