Articolo | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Formato del prodotto | ≤6 pollici | ≤8 pollici | ≤8 pollici | ||
Fonte di alimentazione RF | 0-300 W/500 W/1000 W Regolabile, abbinamento automatico | ||||
Pompa molecolare | -/620(L/s)/1300(L/s)/Personalizzato | Antisettico620(L/s)/1300(L/s)/Personalizzato | |||
Pompa principale | Pompa meccanica/pompa a secco | Pompa a secco | |||
Pressione di processo | Pressione non controllata/pressione controllata 0-1Torr | ||||
Tipo di gas | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Personalizzato (Fino a 9 canali, nessun gas corrosivo e tossico) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Gamma di gas | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
Blocco del carico | Si No | Si | |||
Controllo del tempo del campione | 10°C~Temp. ambiente/-30°C~100°C/Personalizzato | -30°C~100°C/Personalizzato | |||
Raffreddamento posteriore ad elio | Si No | Si | |||
Rivestimento della cavità di processo | Si No | Si | |||
Controllo della temperatura della parete della cavità | No/Temp.ambiente~60/120°C | Temperatura ambiente-60/120°C | |||
Sistema di controllo | Automatico/personalizzato | ||||
Materiale per incisione | A base di silicio:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiali magnetici/materiali in lega Materiale metallico: Ni/Cr/Al/Au. Materiale organico: PR/PMMA/HDMS/pellicola organica. | A base di silicio: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Materiali magnetici/materiali in lega Materiale metallico: Ni/Cr/A1/Au. Materiale organico: PR/PMMA/HDMS/pellicola organica. |
Adatto per dispositivi a microonde, dispositivi di alimentazione, ecc.
La macchina Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) è un pezzo di tecnologia all'avanguardia in grado di incidere e analizzare vari tipi di materiali con incredibile precisione. Questa macchina è progettata per l'uso in vari settori in cui è richiesta regolarmente la microfabbricazione o l'incisione. È realizzato con materiali di alta qualità che lo rendono durevole, affidabile e in grado di produrre risultati eccellenti.
Dotato di un generatore di plasma RF è efficace. Il sistema RIE utilizza un accoppiamento induttivo per produrre plasma dalla benzina alimentata. Questa tecnica crea un plasma ad alta densità che aumenta la velocità di attacco associata al prodotto. Il processo di incisione della macchina RIE è efficace, accurato e altamente controllabile, consentendo di ottenere una profondità specifica. Questa caratteristica è unica ed è un'ottima scelta per lavori di ricerca o industriali.
La macchina ha una gamma ampia, tra cui la microelettronica, la fabbricazione di MEMS e la fabbricazione di semiconduttori. Questa macchina svolge un ruolo importante nell'incisione e nella microlavorazione di materiali semiconduttori come silicio, arseniuro di gallio e germanio nell'industria dei semiconduttori. Il dispositivo RIE Minder-Hightech è stato inoltre affermato nel settore MEMS per la fabbricazione di materiali morbidi e duri come poliimmide, biossido di silicio e nitruro di silicio. Inoltre, è accessibile per l'analisi dei guasti nei settori associati a servizi e prodotti elettronici.
Include funzionalità diverse che lo rendono facile da utilizzare. Si tratta di un software facile da usare che fornisce all'operatore il controllo completo sui parametri di incisione utilizzati nel dispositivo. Le impostazioni della macchina vengono salvate nella sua memoria interna che può contenere oltre 100 set di impostazioni. Sullo schermo è presente un tocco che consente all'operatore di impostare parametri come il movimento del gas, lo spessore della potenza e la pressione. La macchina RIE Minder-High-tech ha anche una funzione di controllo della temperatura che garantisce che i materiali siano incisi alla giusta temperatura e ne impedisce il danneggiamento.
Perfetto per le aziende che necessitano di una macchina affidabile ed efficiente in grado di fornire risultati accurati e precisi. Questo dispositivo è stato progettato con tecnologia di prim'ordine e il livello è molto. La sua versatilità e le sue caratteristiche intuitive lo rendono una scelta molto valida per la ricerca e le applicazioni industriali in diversi settori.
Dispone inoltre di un efficiente sistema di analisi dei guasti che consente alla macchina di rilevare e correggere eventuali problemi meccanici il prima possibile. Questo sistema garantisce che la macchina RIE mantenga elevata qualità e affidabilità durante tutto il suo ciclo di vita. Per qualsiasi settore che richieda un'incisione o una microfabbricazione precisa ed efficiente, la macchina RIE Minder-High-tech è la soluzione perfetta.
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