Voce |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
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Dimensione del prodotto |
≤6 pollici |
≤8 pollici |
≤8 pollici |
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Fonte di potenza RF |
0-300W/500W/1000W Regolabile, accoppiamento automatico |
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Pompa Molecolare |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Personalizzato |
Antisettico620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Personalizzato |
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Pompa Foreline |
Pompa meccanica\/pompa secca |
Pompa a secco |
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Pressione di processo |
Pressione non controllata\/0-1Torr pressione controllata |
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Tipo di gas |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Personalizzato (Fino a 9 canali, nessun gas corrosivo e tossico) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Fino a 9 canali) |
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gamma di gas |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/personalizzato |
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LoadLock |
Sì/No |
Sì |
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Controllo della temperatura del campione |
10°C~Temperatura ambiente/-30°C~100°C/Personalizzata |
-30°C~100°C/Personalizzata |
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Raffreddamento a elio retrostante |
Sì/No |
Sì |
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Foderatura della cavità di processo |
Sì/No |
Sì |
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Controllo della temperatura delle pareti della cavità |
No/Temperatura ambiente~60/120°C |
Temperatura ambiente-60/120°C |
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Sistema di Controllo |
Automatico/personalizzato |
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Materiale per incisione |
A base di silicio: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiali magnetici/leghe Materiale metallico: Ni/Cr/Al/Au. Materiale organico: PR/PMMA/HDMS/film organico. |
A base di silicio: Si/SiO2/SiNx. III-V (nota 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (nota 3): CdTe. Materiali magnetici/leghe Materiale metallico: Ni/Cr/Al/Au. Materiale organico: PR/PMMA/HDMS/film organico. |
Adatto per dispositivi a microonde, dispositivi di potenza, ecc.
La macchina Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) è un pezzo di tecnologia all'avanguardia che può incidere e analizzare vari tipi di materiali con una precisione incredibile. Questa macchina è progettata per essere utilizzata in varie industrie dove è richiesta regolarmente la microfabbricazione o l'incisione. È realizzata con materiali di alta qualità che la rendono duratura, affidabile e in grado di produrre ottimi risultati.
Dotata di un generatore di plasma RF, è efficace. Il sistema RIE utilizza una accoppiatura induttiva per generare il plasma dal carburante di alimentazione. Questa tecnica crea un plasma ad alta densità che aumenta il tasso di incisione associato al prodotto. Il processo di incisione della macchina RIE è efficace, preciso e altamente controllabile, consentendo di ottenere una profondità specifica. Questa caratteristica lo rende una scelta eccellente per ricerche o lavori industriali.
La macchina ha un campo d'azione ampio, che include microelettronica, fabbricazione di MEMS e fabbricazione di semiconduttori. Questa macchina svolge un ruolo importante nello snodo e nel micromacchinario dei materiali semiconduttivi come silicio, arsenuro di gallio e germanio nell'industria dei semiconduttori. L'apparecchio RIE Minder-High-tech è inoltre stato introdotto nell'industria dei MEMS per la fabbricazione di materiali morbidi e duri come poliammide, biossido di silicio e nitruro di silicio. Inoltre, è disponibile per l'analisi delle cause di malfunzionamento nelle industrie legate a servizi e prodotti elettronici.
Includi funzionalità varie che lo rendono facile da utilizzare. È un software intuitivo che fornisce all'operatore il controllo completo sui parametri di incisione utilizzati nel dispositivo. Le impostazioni della macchina vengono salvate nella sua memoria interna e può memorizzare più di 100 set di impostazioni. Dispone di uno schermo touch che consente all'operatore di impostare parametri come flusso del gas, densità di potenza e pressione. La macchina RIE Minder-High-tech dispone inoltre di una funzione di controllo della temperatura che garantisce che i materiali vengano incisi alla temperatura corretta, impedendo danni ai materiali.
Adatta per aziende che richiedono una macchina affidabile ed efficiente in grado di fornire risultati precisi ed esatti. Questo dispositivo è stato progettato con tecnologia di alto livello e offre un elevato grado di versatilità. Le sue caratteristiche intuitive lo rendono una scelta eccellente per applicazioni di ricerca e industria in vari settori.
Ha inoltre un sistema di analisi dei guasti efficiente che consente alla macchina di rilevare e correggere eventuali problemi meccanici il prima possibile. Questo sistema garantisce che la macchina RIE mantenga alta qualità e affidabilità per tutto il suo ciclo di vita. Per qualsiasi industria che richieda incisioni o microfabbricazione precise ed efficienti, la macchina RIE Minder-High-tech è la soluzione ideale.
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