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  • Apparecchiature RTP per elaborazione termica rapida per MEMS LED SlC a semiconduttore composto
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Apparecchiature RTP per elaborazione termica rapida per MEMS LED SlC a semiconduttore composto Italia

Descrizione del prodotto

Elaborazione termica rapida

Apparecchiature RTP per semiconduttori composti, SlC, LED e MEMS
* Crescita di ossido e nitruro
* Lega rapida a contatto ohmico
* Ricottura della lega di siliciuro
*Reflusso di ossidazione
*Processo all'arseniuro di gallio
*Altri processi di trattamento termico rapido
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per la fabbrica MEMS LED SlC di semiconduttori composti
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per la produzione di MEMS LED SlC composti a semiconduttore
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per la produzione di MEMS LED SlC composti a semiconduttore
caratteristica

RTP a doppia camera completamente automatico

* Compatibile con WAFER da 6-8 pollici
* La temperatura massima può raggiungere i 1250°c
* Riproducibilità stabile della temperatura
* Design a doppia camera completamente automatico per aumentare la capacità produttiva
* Uniformità del campo a temperatura ultraelevata
* Soddisfare la domanda del processo di produzione di massa SLC
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per la produzione di MEMS LED SlC composti a semiconduttore
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per il fornitore di MEMS LED SlC a semiconduttore composto

RTP semiautomatico

* Riscaldamento del tubo della lampada alogena a infrarossi, raffreddamento mediante raffreddamento ad aria;
* Controllo della temperatura PlD per la potenza della lampada, che può controllare accuratamente l'aumento della temperatura, garantendo una buona riproducibilità e uniformità della temperatura;
* L'ingresso del materiale è fissato sulla superficie WAFER per evitare la produzione di punto freddo durante il processo di ricottura e garantire una buona uniformità di temperatura del prodotto;
* È possibile selezionare sia la modalità di trattamento atmosferica che sottovuoto, con pretrattamento e purificazione della scocca;
* Due set di gas di processo sono standard e possono essere espansi fino a 6 set di gas di processo;
* La dimensione massima di un campione misurabile di silicio monocristallino è 12 pollici (300x300 mm);
* Le tre misure di sicurezza di protezione dell'apertura sicura della temperatura, protezione del permesso di apertura del regolatore di temperatura e protezione di sicurezza dell'arresto di emergenza dell'apparecchiatura sono completamente implementate per garantire la sicurezza dello strumento;
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per il fornitore di MEMS LED SlC a semiconduttore composto
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida di dettagli MEMS LED SlC composti a semiconduttore

RTP desktop

* Riscaldamento del tubo della lampada alogena a infrarossi, raffreddamento mediante raffreddamento ad aria;
* Controllo della temperatura PlD per la potenza della lampada, che può controllare accuratamente l'aumento della temperatura, garantendo una buona riproducibilità e uniformità della temperatura;
* L'ingresso del materiale è fissato sulla superficie WAFER per evitare la produzione di punto freddo durante il processo di ricottura e garantire una buona uniformità di temperatura del prodotto;
* È possibile selezionare sia la modalità di trattamento atmosferica che sottovuoto, con pretrattamento e purificazione della scocca;
* Due set di gas di processo sono standard e possono essere espansi fino a 6 set di gas di processo;
* La dimensione massima di un campione misurabile di silicio monocristallino è 12 pollici (300x300 mm);
* Le tre misure di sicurezza di protezione dell'apertura sicura della temperatura, protezione del permesso di apertura del regolatore di temperatura e protezione di sicurezza dell'arresto di emergenza dell'apparecchiatura sono completamente implementate per garantire la sicurezza dello strumento;
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per il fornitore di MEMS LED SlC a semiconduttore composto
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Dettagli dell'attrezzatura
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per il fornitore di MEMS LED SlC a semiconduttore composto
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Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida di dettagli MEMS LED SlC composti a semiconduttore
Imballaggio e consegna
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Profilo Aziendale
Abbiamo 16 anni di esperienza nella vendita di apparecchiature e possiamo fornirti una soluzione completa di apparecchiature per linee di pacchetti IC!
Apparecchiature RTP per l'elaborazione termica rapida per la fabbrica MEMS LED SlC di semiconduttori composti
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