Apparecchiature per l'industria dei semiconduttori MDLB-MC200 Pulitore per fotomaschere, Cina Apparecchiature per l'industria dei semiconduttori MDLB-MC200 Pulitore per fotomaschere Produttori, Fornitori, Fabbrica

Modello MDLB-MC200

Detergente per fotomaschere

Unità di pulizia:

La camera di pulizia è lavorata con materiali resistenti alla corrosione, che hanno una superficie liscia e sono facili da pulire. C'è una porta di scarico dei rifiuti nella parte inferiore della cavità interna, che utilizza la gravità per consentire lo scarico del liquido di scarto nella tubazione di scarico dei rifiuti della fabbrica. C'è una porta di aspirazione all'interno della cavità, che può estrarre tempestivamente l'atmosfera dalla cavità. Dotato di 3 bracci oscillanti automatici, può ottenere una pulizia automatica.

Tabella dei parametri di configurazione:

No.	Progetto	Specifiche	Commento
1	Panoramica delle apparecchiature	Nome dispositivo: Photomask Cleaner
		Modello dell'apparecchiatura: MDLB-MC200
		Dimensioni complessive (circa): 1300 mm (L) * 1000 mm (P) * 1950 mm (A)
		Peso totale della macchina (circa): 300 kg
		Altezza del tavolo operatorio: 900 ± 50 mm
		Specifiche delle dimensioni del substrato: adatto per piastre di maschera quadrate da 2/4/5/6/8 pollici
		Flusso di processo: posizionamento manuale del wafer → pulizia (spazzola, soluzione detergente → acqua ad alta pressione → acqua megasonica → acqua deionizzata → essiccazione con azoto gassoso) → rimozione manuale del wafer
		Tipo di attrezzatura: semiautomatica, carico e scarico manuale
2	Costruzione di attrezzature	Guscio: acciaio inossidabile, liscio, resistente alla corrosione, facile da pulire
		Camera di pulizia: PP, liscia, resistente alla corrosione, facile da pulire
		Conduttura: viene utilizzata la conduttura di abbinamento PU/PFA
		Illuminazione di lavoro: illuminazione a luce gialla anticorrosione
		Stile di apertura della porta: Doppia porta con funzione di allarme di apertura della porta
		Touch screen: touch screen a colori da 10 pollici * 1
		FFU: Classe 100
		Supporto inferiore anti-perdita: disponibile
3	Servomotore ad alta precisione	Quantità: 1
		Velocità: -3000~3000 giri/min	Carico vuoto
		Accelerazione massima di rotazione del mandrino: 3000 giri/min/S	Carico vuoto
		Precisione della velocità: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Risoluzione della velocità: 1 rpm
4	Braccio oscillante automatico	Quantità: 3
4	Braccio oscillante automatico	Velocità del braccio oscillante: 1~30 °/S
5	Unità di pulizia	Pulizia braccio oscillante: 1 canale di acqua deionizzata, 1 canale di azoto gassoso Braccio Megasonic: 1 Megasonic, 1 Acqua ad Alta Pressione Braccio spazzola: 1 spazzola, 1 acqua, 1 soluzione detergente
		Metodo di pulizia: pulizia automatica
		Funzione di aspirazione dell'acqua deionizzata: disponibile
		Controlavaggio (acqua deionizzata): 1 percorso
		Metodo di fornitura: Soluzione detergente: Pompa a membrana Acqua deionizzata: fornita direttamente dalla fabbrica
		Serbatoio a pressione con rilevamento del livello del liquido
6	Pennello	Quantità: 1 (con funzione autopulente)
		Velocità: fino a 1000 giri/min, velocità regolabile
		Altezza regolabile manualmente
7	Caricare il vassoio	Quantità: 5
		Materiale: PPS + acciaio inossidabile
		Dimensioni: Adatto per piastre di maschera quadrate da 2/4/5/6/8 pollici
		Metodo di fissaggio del substrato: Metodo di fissaggio ad artiglio
8	Sistema di controllo	Sistema di controllo: tramite controllo PLC
		Programma: 100 gruppi, ogni gruppo è composto da 100 passi, con un tempo massimo di un singolo passo di 3000.0 secondi Risoluzione: 0.1S
		Il programma può essere salvato, chiamato, modificato ed eliminato
		Imposta le autorizzazioni di crittografia: rispettivamente per gli operatori dei dispositivi, i tecnici, gli amministratori e i produttori
		Tipo di torretta di segnalazione: rosso, giallo, verde 3 colori