Macchina per la pulizia automatica a singolo wafer Pulitrice wafer
Caratteristiche della macchina
Singola cavità, due cavità e quattro cavità Eccellente capacità di processo, in grado di supportare applicazioni come Wafer Start e pulizia del processo Buona coerenza della tecnologia inter chip dell'attrezzatura
Campi di applicazione
Rimozione di particelle superficiali su wafer a base di silicio e composti da 4 a 8 pollici
Parametri tecnici
Cavità di spazzola da 4 pollici, 6 pollici e 8 pollici Velocità del spinner fino a 4000 giri al minuto Camera di spazzola a doppio braccio, disponibile con metodi di pulizia Brush, AS, JET, Megasonics Può supportare la funzione di pulizia liquida
Unità LoadPort, unità di caricamento
LoadPort è l'unità di caricamento di questo dispositivo
In grado di eseguire Wafer Mapping Dotato di rilevazione Wafer slide
Unità Robot di Trasferimento
Robot Dual Blade, opzionale con lame a vuoto o a vassoio.
Unità di allineamento e capovolgimento
Può allineare e posizionare i bordi piatti La wafer può essere capovolta per pulire il retro del cristallo
Unità di spazzolatura
Quantità di Braccia di Spazzolatura * 2 Manico wafer: tenaglia chuck o tipo a succhio Spazzola, modalità di pulizia AS, JET, Megasonici, supporto per la pulizia farmaceutica
1. Supporta l'ingresso e l'uscita simultanea della wafer, nonché le modalità di ingresso A e uscita B 2. Può supportare il lavaggio del fronte della camera A e del retro della camera B 3. Può supportare la pulizia parallela a doppia camera
Descrizione dell'unità di spazzolatura
Come mostrato nella figura Wafer fissato in cima a Spinner
Braccio1&Braccio2 possono essere utilizzati in combinazione con vari metodi di pulizia descritti in precedenza per pulire i wafer.
Dopo la pulizia, Spinner ruota a alta velocità per centrifugare e asciugare il wafer
Unità di allineamento e capovolgimento
Wafer può essere utilizzato per scopi residenziali e di livellamento
Wafer può essere capovolto
Dimensioni dell'attrezzatura: 160x150x220 (mm) Metodi di caricamento e scaricamento: ingresso e uscita uguali & A in ingresso e B in uscita Numero di unità di spazzolatura: 2 Modalità di spazzolatura: Spazzola, AS, JET, metodi di pulizia Megasonics, supporto per la pulizia farmaceutica
Imballaggio & consegna
Profilo dell'azienda
FAQ
1. Informazioni sul prezzo: Tutti i nostri prezzi sono competitivi e negoziabili. Il prezzo varia a seconda della configurazione e della complessità di personalizzazione del tuo dispositivo.
2. Informazioni sul campione: Possiamo fornire servizi di produzione di campioni per te, ma potresti dover pagare alcune spese.
3. Informazioni sul pagamento: Dopo la conferma del piano, devi prima versarci un acconto e la fabbrica inizierà a preparare i prodotti. Dopo che l' attrezzatura è pronta e hai pagato il saldo, la spediremo.
4. Informazioni sulla consegna: Al termine della produzione dell'attrezzatura, ti invieremo il video di accettazione e potrai anche venire sul sito per ispezionare l'attrezzatura.
5. Installazione e regolazione: Una volta arrivata l'attrezzatura nella tua fabbrica, possiamo inviare ingegneri per installarla e regolarla. Ti forniremo una preventivo separato per questa spesa.
6. Informazioni sulla garanzia: Le nostre attrezzature hanno un periodo di garanzia di 12 mesi. Dopo il periodo di garanzia, se si danneggiano parti e hanno bisogno di essere sostituite, addebiteremo solo il costo delle parti.
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