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  • Macchina per la pulizia a plasma a microonde sotto vuoto Trattamento superficiale al plasma Soluzione per l'imballaggio dei semiconduttori Pacchetto IC TO
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Descrizione dei Prodotti

Pulitore al Plasma a Microonde per l'imballaggio dei semiconduttori

SPV-100MWR è un sistema di pulizia a plasma a microonde a bassa tensione per semiconduttori. Applicando microonde con una frequenza di 2,45GHz alla finestra sul muro della cavità vuota, viene generato un grande numero di Plasma continuo e il chip viene pulito entrando nella cavità.
Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier
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Parametri tecnici
Unità principale a plasma vuoto
Dimensioni dell'attrezzatura
1230X1800X1100mm (larghezza x altezza x profondità)
Peso
450 kg
domanda di potenza
AC380V, 50/60Hz, 5 fili, 30A
Specifiche del generatore a plasma
Fonte di alimentazione per microonde
Potenza
0~1250W
Frequenza
2.45GHz
Sistema di vuoto
Materiale
Lega di alluminio (camera in acciaio inox personalizzabile)
Spessore
25mm
Dimensioni interne della cavità
480mmX470mmX480mm
Spazi di lavoro
6 sezioni di rivista
ECR
La rivista a fessura offre un miglioramento dell'effetto di elaborazione ECR
Capacità di plasma
Capacità di elaborazione
35um Pitch
40μm Bump
15X15mm Dimensioni massime del dado
Applicazioni
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Dettaglio
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Abbiamo 16 anni di esperienza nella vendita di attrezzature e possiamo fornirti una soluzione completa per la linea di imballaggio IC!
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